應材推電子束檢視系統 攻面板市場
中央社/
9 年前
（中央社記者張建中新竹22日電）半導體設備廠應用材料擴展電子束檢視系統市場，推出面板生產線上用的電子束檢視系統，目前已獲6家全球前十大顯示器製造廠訂單。
應用材料指出，面板生產線上用的電子束檢視系統是將原用在半導體元件檢視的掃描式電子顯微鏡技術，結合在大尺寸顯示器的真空系統平台上，可在製造顯示器時，快速有效發現與分析造成良率損失缺陷的原因。
應用材料表示，目前在顯示器製造中使用的自動光學缺陷檢測機台，無法像掃瞄式電子顯微鏡一樣有效辨識致命與非致命的缺陷，或確認系統性的起因。
此外，以掃描式電子顯微鏡分析顯示器製品，須用破壞性檢視，將玻璃基板切割成小片取樣，再分別將每塊小片於顯微鏡下檢查，不僅耗資、費時，並難以定位缺陷在整片面板上的確切位置。
應用材料指出，新推出的生產線上電子束檢視系統不需破壞面板，可解決現有檢測限制；目前已獲6家全球前十大顯示器製造廠訂單。
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