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著眼於靜態光學失效分析 DCG Systems推出Meridian MTM系統

大成報/ 2015.10.12 00:00
【大成報記者羅蔚舟/新竹報導】

蔚華科技在中國獨家代理的DCG Systems®宣佈,推出用於常規及高難度晶圓電性失效分析的Meridian MTM 系統。Meridian M系統提供電晶體缺陷和漏電的光子發射 (EMISSION) 分析技術,及一套針對導體缺陷的靜態鐳射激發技術,是支持記憶體生產和代工廠失效分析(FA)實驗室的一個至關重要的工具。

DCG Systems的Meridian產品事業部經理Praveen Vedagarbha博士表示:「靜態光學失效定位分析(OFI)正在興起。雖然動態光學失效分析對故障定位非常重要,但與之相比靜態光學失效分析速度更快、使用更方便,因為它不需要與測試機結合,也不需要擁有編輯測試程式所必需的測試知識。Meridian M系統的速度和易用性在前期良率提升階段特別有價值,因為它能及時地向制程工藝團隊快速回饋故障資訊。」

蔚華科技表示,Meridian M系統高靈敏度、寬波段的DBX(TM)光學技術能捕捉到最具挑戰性的缺陷,包括先進記憶體件中大面積制程不均勻導致的異常洩電;存儲記憶體單元中的字線-字線或位線-位線間高阻短路;低電壓GPU及邏輯電路中的電阻故障;需要長時間信號收集的微弱EMISSION。Meridian M系統還能捕捉到發射熱波段(大於1850nm)光子的電性故障,如局部開路、高阻短路和電遷移等。

在各種靜態光學失效分析系統中,Meridian M系統已證明能捕捉最微弱的EMISSION來定位缺陷。藉由客制設計的光學元件、使用者自選的波長範圍,以及最低的背景雜訊使得Meridian M系統適合各種故障類型分析,包括從常見的“光”發射,諸如過度漏電、電晶體飽和和閉鎖故障,到波長更長的“熱”發射,如高阻短路和摻雜劑位移。由於Meridian M系統適用於封裝晶粒以及整片晶圓,因此能夠輕易從事良品和不良品的對比,有助於判讀複雜的EMISSION圖像。

DCG Systems, Inc.是行業領先的電性失效分析、定位和電路修改設備供應商,應用于廣大半導體和電子製造商的工藝開發、良率提高和失效分析(見半導體行業頂級缺陷分析系統供應商)。DCG Systems已在全球部署了超過1500套系統,通過位於加州弗里蒙特的總部以及設在美國、日本、臺灣、韓國、馬來西亞、新加坡、以色列和德國的辦事處為全球客戶提供服務。欲瞭解DCG Systems的詳情,請訪問: dcgsystems.com 。

DCG Systems的Meridian擁有行業領先的裝機量。產品面涵蓋晶圓以及封裝晶粒,應用於所有領先的半導體設計公司、代工廠商及集成器件製造商(IDM)。欲瞭解Meridian M系統詳情,請訪問Meridian M產品頁面(http://dcgsystems.com/products/electrical-fault-analysis/meridian-line/meridian-m/)。

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