AMTC( Advanced Mask Technology Center GmbH &Co. KG)是GLOBALFOUNDRIES與Toppan Photomasks, Inc.持股各半的合資公司,主要從事尖端光微影光罩研發製造。
愛德萬測試指出,獲獎代表肯定公司在光罩用多視角量測掃描式顯微鏡(MVM-SEM)量測系統的性能。
愛德萬測試光罩用MVM-SEM系統,可針對邏輯元件與記憶體元件應用的尖端ArF與EUV光罩,進行圖樣量測,這個系統具備長期操作穩定性,可提供相對高的可靠性,能因應大量生產環境需求。
愛德萬測試指出,這個獎項評選標準包括採購流程、技術能力及製程支援等三大面向表現,愛德萬測試在11家受評選的供應商中,獲得最高分。