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英特爾台積衝製程 艾司摩爾接單旺

中央商情網/ 2015.04.22 00:00
(中央社記者張建中新竹2015年4月22日電)半導體大廠英特爾(Intel)與台積電(2330)同步積極衝刺先進製程,半導體微影設備廠艾司摩爾(ASML)營運受惠,極紫外光微影系統(EUV)接單暢旺。

極紫外光微影(EUV)技術較現有先進製程使用的浸潤式微影技術,具提升良率及縮短生產時間的效益,為半導體業界視為讓摩爾定律往下延續的重要關鍵技術。

艾司摩爾EUV系統NXE3300B今年第1季在客戶端測試中達到24小時內曝光超過1000片晶圓,EUV已接近量產階段。

艾司摩爾指出,至今年第1季已累績出貨8台NXE3300B;其中,有2台出貨台積電,台積電這2台NXE3300B將升級到新一代的NXE3350B。

另外,台積電去年11月也下單採購2台NXE3350B,將於今年完成出貨。

艾司摩爾今天宣布,接獲1家美國客戶大單,將至少採購15台EUV系統,其中,2台NXE3350B也將於今年底前完成出貨;這家客戶預計將EUV系統用於未來先進製程中,支援新世代產品研發和試產。

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