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▲台積電加入ASML投資專案

中央商情網/ 2012.08.06 00:00
(中央社記者張建中新竹2012年8月5日電)晶圓代工廠台積電(2330)今天宣布,加入半導體設備廠艾司摩爾(ASML)客戶聯合投資專案,盼加速極紫外光(EUV)微影技術與18吋晶圓微影設備開發及量產。

為讓關鍵微影技術發展順利,且加速進行,荷蘭半導體設備廠ASML於7月9日宣布展開客戶聯合投資專案,邀請英特爾(Intel)、台積電及三星(Samsung)3大廠參加。

英特爾率先決定參與ASML客戶聯合投資專案,台積電董事長暨總執行長張忠謀於7月法人說明會後記者會時曾表示,台積電並沒有感到壓力,不會被迫投資ASML。

台積電當時仍在審慎評估中,張忠謀說,台積電若決定投資ASML,將主要是基於希望加速EUV發展考量。

經過近1個月評估,台積電今天宣布,加入ASML客戶聯合投資專案;根據協議,台積電將投資ASML達8.38億歐元,取得ASML約5%股權,未來5年並將投入2.76億歐元,支持ASML的研發計畫。

台積電執行副總經理暨共同營運長蔣尚義表示,如何有效控制日益攀升的晶圓製造成本,是縮小積體電路尺寸面臨的最大挑戰之一。

蔣尚義說,台積電挹注ASML研發經費,將確保並加快EUV微影技術開發,同時提高既有光學微影工具效能,促進18吋晶圓製造技術的快速發展,將有助半導體業控制晶圓成本。

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