SEMICON Taiwan 2026 打造首座「縮小版晶圓廠」直擊晶片誕生起點！

【記者林鼎皓／台北報導】

走進半導體的最前線，原來晶片誕生的現場長這樣！全球半導體盛事 SEMICON Taiwan 2026 明（2）日才正式開展，但位於南港展覽館一館 1 樓 J 區入口的「Dream Fab」展區，今天已提前向媒體揭開神祕面紗。在 AI 浪潮推動先進製程大升級的當下，今年主辦單位破天荒聯手 ASML、家登精密、愛德萬測試等 10 家產業巨頭，直接在展場搭建出一座「當代晶圓廠縮影」。記者今天率先踏進展區，為讀者帶來第一手的沉浸式晶圓製造大解密。

穿越 Air Shower 與高架地板 記者親身體驗無塵室第一步
採訪的第一站，記者穿過廣隆欣業的標準型 Air Shower（空氣洗塵室）實機，強風吹襲的體感瞬間讓人有置身真實晶圓廠的錯覺。隨後踏上惠亞（Viega）20 公分高的高架蜂巢地板，現場還開放體驗無塵衣著裝，每個步驟都嚴格還原。

以往分散在各大科學園區、一般人難以親見的技術門檻，在這邊被濃縮成一條極具故事性的參觀動線。記者現場觀察，展區依循晶片誕生的歷程，精準劃分為四大核心區塊：

• 核心設備區：直擊次世代 EUV 與晶圓清洗
  現場最吸睛的莫過於 ASML 的 High NA EUV（高孔徑極紫外光曝光機）模型，以及 SCREEN 的 SU3400 單片式晶圓清洗設備模型。當清洗設備的 Loadport 搭配上家登精密的 12 吋 Purge FOUP（晶圓傳送盒），完美呈現了晶圓在先進製程中曝光、清洗與潔淨傳送的關鍵步驟，科技感十足。
• 關鍵材料區：平坦化製程的幕後功臣
  在維持高良率的關鍵環節，記者看到了 Qnity 展示的 CMP 研磨墊與研磨液，這正是讓晶圓表面達到完美平坦化的核心耗材。
• 智慧搬運區：天花板上的自動化巨獸
  抬頭一看，迅得機械的 OHT（空中行走式無人搬運車）定點夾取系統正精準運作，流暢地搭配家登精密的先進封裝載具 Film Frame FOUP，重現了現代化晶圓廠內無人化的自動化搬運日常。
• 精密測試區：破天荒！記者起提「探針卡手提箱」
  在晶片出廠前的最後把關，現場展出愛德萬測試（Advantest）的 V93000 測試機模型，以及旺矽對應該機台使用的探針卡與探針卡基板、G2C+策略聯盟的晶片挑選機模型。最有趣的是，現場的探針卡特別搭配手提箱展示，印象深刻。

世代接力！校園大使同框產業領袖 共構半導體未來
今天的揭幕活動由吉祥物「晶晶」帶來的活力表演開場，SEMI 全球行銷長暨台灣區總裁曹世綸與校園大使代表致詞後，偕同各大贊助商代表，以及身著無塵衣的校園大使們在展區前合影留念。年輕學子與產業大老同框的畫面，象徵著半導體人才培育的世代接力。

記者進一步了解到，SEMI 今年透過「校園大使計畫」遴選出 10 名優秀學生，讓他們參與展前培訓與現場導覽。這不僅讓年輕世代能從第一線認識產業，更具體呼應了本屆展會 「Transform Tomorrow 共構未來」 的核心精神。想一窺晶圓廠神祕面紗的讀者，9 月 2 日至 4 日千萬不能錯過這座位於南港展覽館的「Dream Fab」。