浸潤式微影之父聯名 崇越捐贈晶圓廠模型助人才

【許家源記者 / 綜合報導】

台北內湖崇越科技總部熱鬧非凡，「浸潤式微影之父」林本堅院長親率清華大學半導體研究學院團隊，與崇越科技董事長潘重良共同簽署合作意向書，並接受三座全球罕見的半導體晶圓廠擬真模型捐贈。這些模型栩栩如生，重現無塵室、微影蝕刻等關鍵製程，以及超純水、廢氣處理等廠務系統，讓學生像走進真實晶圓廠一樣，直觀感受半導體世界的奧妙。

訪談中，崇越科技公關吳律頤分享，這次捐贈不只硬體，更象徵產學大聯盟。崇越當年正是從材料端協助林本堅突破浸潤式微影瓶頸，調校純水接觸角、優化光阻特性，才讓45奈米以下製程順利量產。如今崇越承諾未來五年每年投入300萬元、總計1500萬元贊助清華學院，聚焦先進材料與製程研發。

林本堅院長則點出，這些模型將成為清華半導體學院的教學利器，幫助學生從抽象數據轉為生動故事。崇越副董事長賴杉桂補充，這是企業回饋社會的最佳範例，未來還會擴大技術交流、聯合研發。從一滴純水改變產業歷史，到如今捐模型、砸重金培育人才，這場產學攜手，不僅厚植台灣半導體根基，更像一場接力賽，把競爭力傳給下一代，讓台灣在全球供應鏈繼續閃耀。

新聞來源:(採訪紀錄如下圖)

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