實聯精密化學澄清　矽乙烷(DiSilane)尚未提送台積電認證

【News586/記者彭慧婉報導】實聯精密化學股份有限公司總經理傅豫東表示，報載實聯精密化學新產品矽乙烷(DiSilane)已交台積電進行認證乙節，實屬誤植。經查實聯精密化學高純度矽乙烷(DiSilane)已於 4 月底順利產出，目前正持續調整參數提高純度至半導體級純度需求，積極爭取 3 個月內提送國內、外半導體業者新進製程驗證，目前尚未提送台積電認證，特此說明。

實聯精密化學除原生產之矽甲烷(Silane)已穩定供應國內半導體、面板及光電產業外，自去(2021)年下半年起陸續推出一氯矽烷(Mono-Chloro Silane, MCS)及二氯矽烷(Di-Chloro Silane, DCS)等高純度特殊氣體外。經過不斷精進，在今(2022)年 4 月底已順利試產矽乙烷(DiSilane)，在未經純化狀況下初始純度已達 99%以上，目前正持續調整操作參數，計畫在 3 個月內提高純度至 99.99%以上，再提供國內、外半導體先進製程驗證。

實聯精密化學表示，該公司一直以高科技產業「最忠實的在地供應鏈」自居，對於長時間依賴進口的特殊氣體(如 Silane、DiSilane、MCS、DCS 等)堅持自主研發生產，目前已經是國內唯一可在地生產含氯矽烷(MCS 及 DCS)的廠商，對於穩定高科技產業製程原料供應，具指標性意義。後續將持續推出高純度矽乙烷(DiSilane)，甚而未來繼續純化供應矽丙烷(TriSilane)，提高製程磊晶效率。