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Gigaphoton發布綠色革新新藍圖

中央社/ 2016.07.06 00:00
氣體循環利用等降低環境負荷成本的技術取得新進步

(中央社訊息服務20160706 10:43:39)栃木縣小山市 -- (美國商業資訊) -- 微影光源的主要生產廠商Gigaphoton株式會社(總公司地址:栃木縣小山市,董事長兼總經理:都丸仁,網址:www.gigaphoton.com)發布了綠色革新的新藍圖。在這裡,綠色革新是指一項降低客戶環境負荷的活動。該專案始於2003年。該公司充分利用在該專案中取得的成果和經驗,達到了進一步降低使用成本的目的。

為了因應近年來業界所擔憂的氖氣和氦氣的供給量減少與漲價,以及全球電力使用量急劇增加的課題,Gigaphoton積極地採用獨自開發的EcoPhoton計畫(註提供了一系列綠色革新技術。2013年開發了一種透過用氮氣代替氦氣的方法將氦氣使用量減少99%*1的技術,2014年開發出了一種eTGM技術,透過該技術可以將氖氣消耗量最多減少50%*2。另外,該公司2015年開發出的eGRYCOS技術可以將雷射放電效率提高20%,憑藉這項技術,在保持雷射性能的同時,能夠降低15%的耗電量*3。

在此次發布的新藍圖中,以上技術得到了進一步的改進。針對氖氣開發出了一種循環利用系統,利用該系統可以去除雜質,並使再生的氖氣純度達到與氣缸供給的新鮮氣體同等的水準。這樣,可以使氖氣的使用量接近於零。另外,該公司還針對氦氣開發出了一種穩定性更高的技術,即使用氮氣代替氦氣也不會犧牲光學特性。在電力方面,在確立提高最新微影製程所要求的雷射高功率的目標的同時,還計劃在2020年之前開發出一種將耗電量減半的技術。

Gigaphoton董事長、總經理兼CEO都丸仁先生說:「本公司將促進建立環保型綠色工廠的綠色革新作為最重要的課題之一,積極地進行相關的技術研發,得到了越來越多客戶的高度評價。為了向客戶提供有用的技術和產品,我們今後仍將一如既往地更加努力。」

*1~3本公司與以往相比的比例。

與eTGM相關的歷史新聞稿

與無氦相關的歷史新聞稿

與eGRYCOS相關的歷史新聞稿

(注

EcoPhoton™計畫簡介

EcoPhoton™計畫是Gigaphoton2003年以來制定並實施的藍圖,旨在提供一種環保型、符合使用者需要的微影光源。在該計畫中,把雷射的持有成本(Cost of Ownership = CoO)分為3類,亦即:耗材的成本(Cost of Consumable = CoC)、停機時間的成本(Cost of Downtime=CoD),以及環境負荷的成本(Cost of Environment = CoE),並對各類成本的主要成因進行詳細分析,旨在提供運用新技術達到持續降低成本的目的。

Gigaphoton公司簡介

Gigaphoton成立於2000年,是一家雷射供應商,自成立以來不斷為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心,從產品研發到生產、銷售及維護,為用戶提供業界最高水準的支援。如需詳細介紹,請造訪:www.gigaphoton.com。

圖片/多媒體資訊 : http://www.businesswire.com/cgi-bin/mmg.cgi?eid=51369919&lang=zh-HK

免責聲明:本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用,煩請參照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。

Contacts

新聞媒體專用聯絡窗口:

Gigaphoton株式會社

經營企劃部

松井章記

電話:+81-285-37-6931

信箱:web_info@gigaphoton.com

訊息來源:business wire

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