應材副總裁暨全球服務設備產品事業群總經理沃納.芬斯特布許(Werner Finsterbusch)表示,隆基採用極具競爭力的評估流程,選定應材的Vericell系統,進一步證明該設備的尖端檢測能力,Vericell機台提供技術與經濟優勢,繼續鞏固隆基的地位。
應材指出,Vericell系統多樣化整合檢測模組在生產中可自動評估每片矽晶圓,能在生產時發現並剔除有缺陷的矽晶圓,除缺陷偵測之外,機台還能測量及回報一系列參數,包括矽晶圓片的厚度、厚度變化、翹曲、線痕、邊緣缺口、污點、隱裂以及電阻率。
Vericell系統已在大規模量產,並證明進入矽晶圓的缺陷與最終晶圓片的破損具直接相關性,相較人工檢測,Vericell系統透過控制矽晶圓品質,盡可能降低破片的風險與成本,增加工廠更高效電池的產量,提高獲利能力。