巨克富科技股份有限公司推出應力量測儀科技部產學計畫成果

(中央社訊息服務20150521 10:13:17)正修科技大學電子系的康定國副教授是國立交通大學電子研究所博士，曾在台積電和聯華電子公司服務。民國94年，他離開聯華電子公司經理的職位，轉往學界發展。康教授的專長研究領域為固態物理、半導體元件物理、奈米元件開發與模擬，他和位於新竹的巨克富科技股份有限公司自99年起連續三年執行國科會工程處（現科技部工程司）的產學計畫，分別開發出應力量測儀、應力與電性量測系統、應力與低頻雜訊量測系統，均獲得國科會工程處傑出或績優的產學獎項肯定。目前應力量測儀的成果已經商品化，應用於晶圓、面板和太陽光電的製造，竹科的廠商使用後很滿意，市場評價良好。這項成果接下來將朝自動化的方向持續開發，另外兩項成果也將在未來一兩年中商品化。

巨克富公司已將由產學合作技轉的技術商品化為應力量測儀（Stress Station），是提升半導體製程效能的重要工具。依據國際半導體技術準則（ITRS）與英特爾CMOS製程技術，應力技術已經成為先進奈米CMOS製程（90 nm以及之後）技術的關鍵技術之一。此應力量測儀可以評估CMOS元件的應力，也可以同時萃取壓阻係數，也可以針對如奈米線、奈米碳管、FinFET、GaAs元件、SiGe通道元件、MEMS、LED、OLED、PV等不同領域進行應力研究。本系統可直接量測出待測元件的應變量，且晶圓彎曲夾具機構簡單，操作容易，亦提供可變化的單軸向應力（包含伸張及壓縮應力），且可擴充至應變IV量測、應變低頻雜訊量測等。本設備已使用於SCI期刊論文之研究。

巨克富科技公司亦由與康教授合作的技術衍伸開發出μ-Force微力系統，可量測微小力量或對微小物件施加微力。應用案例包括：探針下針力量監測、四點探針測試薄膜時力量監測、對MEMS元件施加微力後了解其IV特性。其可搭配市售探針座或四點探針台使用，量測解析度最高達0.5mg，提供量測軟體，可同時監測兩通道微力變化。

康定國教授從業界回到學術界時，覺得半導體的製程愈縮愈小，需要使用應力技術以提升元件的性能。何總經理的專長是機械的應變與振動領域，而康教授是學半導體的，在產業界這兩者剛好彼此需要而可以結合，具體產出了應力量測的系列儀器。康教授說，低頻雜訊是學術界和業界都很感興趣的主題，在台灣很少人有自主能力。光是低頻雜訊量測的部分，由國外廠商客製化組裝一套設備就要台幣兩三百萬，自己開發的價錢就低許多。他們的獨創性是還加上應力平台，國外在應力之下又量測低頻雜訊比較少。

何寬賢總經理表示，由於市面上沒有像巨克富所開發的這種應力量測儀器，他和康教授討論很多次之後就發現自己的專長可以和康老師需求面的項目結合，發展全新的設備。「這就是我們的優勢。國際大廠不會為了很簡單的需求開發設備，而我們就在做這件事情。」

何總經理分析，國際大廠的產品基本上很完整，很可靠，也有很好的銷售系統，但巨克富的系統也有獨到的競爭力。「整套系統都是自己設計的，原理原則我們很清楚，所以公司可以依照客戶的需要進行客製化開發。」

何總積極參加專業的商展和研討會進行發表和推廣，非常用心推廣技術和產品。公司的業務工程師彭昕蔚先生則地毯式的在台灣學界和產業界推廣和接洽，逐漸打開產品的知名度，累積口碑和市場的信心。

巨克富科技公司創設於民國88年。談起創業的初衷，何寬賢總經理說，離開學校後到工研院服務，參與腳踏車的計畫，當時進行很多軟體撰寫和測試台設計的訓練，奠定了基礎。後來他發現產業很需要這樣的人才，在工研院服務兩年後離開，從soho族做起。「就我一個人加一台傳真機和電腦，接客戶的case。」經過一年，他發現這個行業有市場有前景，才成立公司。「成立公司時沒什麼錢，幾個朋友湊了100萬才開張。一開始就我一個人，後來慢慢發展，發現許多人對這個領域有興趣，於是開始招募員工，進來一起努力。」

何總經理說，創業先要找到「對」的題目，必須是自己很專長的，還要有破釜沉舟的打算。「這條路畢竟很辛苦，可能在成功之前已經失敗了一百次，還經歷了各種困難。」對於目前創新創業的風潮，何總說，不管是創業還是工作，最重要的是「堅持」。「堅持去做同一件事情，把這件事情做到最好，這樣即使不創業也可以很成功。而如果是這樣而學有所成出來創業，也可以很成功。」

何總說，公司和康老師合作的系列應力量測儀器開發是很務實的，在研究領域上很前瞻，而在執行的技術面又能夠做到，這種題目非常的好。投入產學，公司從老師、學校和同學這邊也學到很多。「我們可能比較熟悉某些技術領域，例如我學機械，而康老師學電子，隔行如隔山，所以我從康老師身上學到很多。而且我們這一行要不斷吸收新知才不會被淘汰，所以我們非常支持產學合作。」

何總表示，巨克富科技是中小企業，除了透過產學合作計畫開發獨特產品，還希望能因此和老師及學生建立默契，讓同學畢業後直接到公司上班，無縫接軌。他在公司開授應變及振動量測理論與實務的課程，還受邀到正修和崑山科大等學校擔任業師，公司更開放各種工讀的機會讓學生鍛鍊實務能力，亦贊助過工程科系的外籍研究生。參與過本項合作計畫的姚明聖和吳明澤碩士生亦將在巨克富公司實習，深入認識業界發展的方向並學到更多實務經驗，持續和公司交流技術。

訊息來源：科技部工程科技推展中心

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