為了滿足市場對150mm半導體、砷化鎵(GaAs)、LED和平板顯示器生產廠的氣體微塵量測的需求，CyberOptics還將展示新的WaferSense 晶圓氣體微塵偵測系統APS2 150C，該偵測系統是其採用150mm晶圓外觀的APS系列的最新產品。新的APS2 150C整合了先進科技，微塵靈敏度提高60%，每小時計數錯誤小於10。
CyberOptics銷售總監Ferris Chen表示：「CyberOptics在提升設備安裝、正常運作時間和長期良率的同時，還一如既往地幫助客戶超越製造品質標準和生產力標準。半導體晶圓廠和原始設備製造商(OEM)都重視領先業界的無線氣體微塵偵測系統的準確度、效率和精度。將微塵靈敏度進一步提升60%，顯示我們致力於提升科技，在省時和撙節費用方面為客戶提供更多價值。」
有了APS技術，設備工程師能以無線方式在半導體加工設備和自動化材料處理系統中即時快速監控、識別和清除氣體微塵。WaferSenseR和ReticleSense?晶圓氣體微塵偵測系統使設備工程師能夠縮短設備認證、投產和維護週期，同時減少開支。與傳統的表面檢測晶圓法相比，採用WaferSense APS的客戶僅需一半的人力，就可節省88%的時間，降低高達95%的成本，產量提高達20倍。這些先進科技能力使微塵靈敏度得以提高，從而進一步擴大這些關鍵客戶的利益。
CyberOptics將展示業界領先的全套無線WaferSense量測設備，包括 晶圓氣體微塵偵測系統(APS)、自動振動系統(AVS)、自動水平量測系統(ALS)、自動校準系統(ATS)和自動間隙量測系統(AGS)。最近推出的ReticleSense 晶圓氣體微塵偵測系統(APSR)量測裝置也將一併展出。
WaferSense量測產品組合包括自動水平量測系統(ALS)、自動間隙量測系統(AGS)、自動振動量測系統(AVS)、自動校準系統(ATS)和 晶圓氣體微塵偵測系統(APS)，如今均提供200mm、300mm和450mm晶圓尺寸。此外，APS和ALS都提供150mm尺寸。ReticleSense 晶圓氣體微塵偵測系統(APSR)和ReticleSense自動水平量測系統(ALSR)產品採用十字線外觀。
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CyberOptics Corporation成立於1984年，是一家領先的感測器和檢測系統供應商，為全球電子組裝和半導體資本設備市場提供能夠提升製程良率和處理量的解決方案。我們的產品部署在製造採用表面貼裝技術的電路和半導體製程設備的產品線上。透過內部開發和收購，CyberOptics正在從策略上將自身定位成為一家高精度3D感測器的全球領導者。CyberOptics總部位於明尼蘇達州明尼亞波里，透過在北美、亞洲和歐洲的部門展開全球運作。
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