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CyberOptics推新ReticleSense氣體微塵粒子感測器

中央商情網/ 2014.02.24 00:00
(中央社2014年2月24日電)根據美國商業資訊報導,電子組裝和半導體製程設備的智慧檢測和感應解決方案全球領導者CyberOpticsR Corporation (NASDAQ:CYBE)即將於23日至27日在加州聖荷西舉辦的SPIE先進微影展第305號攤位上展示ReticleSense?氣體微塵粒子感測器(APSR)。

使用APSR,微影工程師能夠監測半導體製程設備內光罩所能到達位置的氣體微塵粒子情況,從而改善系統設定,增加長期產量。

CyberOptics總裁兼執行長Subodh Kulkarni表示:「CyberOptics利用其當前的WaferSenseR晶圓形氣體微塵粒子感測器(APS)技術,打造出了光罩形狀的APS。該產品是根據與微影製程有關的半導體業世界領先公司的意見開發而成的。CyberOptics將在開創各項技術的豐富歷史經驗的基礎上,繼續開發高效率的創新型解決方案,提升半導體廠的生產效率,盡可能地減少半導體廠的前期投資,削減成本。」

微影工程師可放心地依賴此項專有技術,該技術是2011年推出且經過實務檢驗的WaferSense晶圓形氣體微塵粒子感測器(APS)設備的進一步拓展,並且已經在全球各地的半導體廠使用,包括三家最大的製造商,無污染環境對這些工廠來說極為重要。

CyberOptics銷售和行銷總監Mark Hannaford表示:「與傳統方法不同,ReticleSense APSR可以讓用戶快速找出光罩環境下的地理粒子來源。此外,APSR能夠抵達光罩可以前往的任何位置,能夠採用任何光罩的運送方式運送,因而無需打開工具。使用ReticleSense和WaferSense測量設備的潛在好處包括提升工具的正常工作時間、最佳化維護作業和增加產量。」

除了新推出的ReticleSense APSR,CyberOptics還將展示其整個WaferSense產品系列。其中包括從2004年起便被半導體業採用的WaferSense晶圓形產品,該產品可提供水準測量、間隙測量、機器人教學、震動測量和氣體微塵粒子檢測解決方案。WaferSense產品提供200毫米、300毫米和450毫米晶圓尺寸。

關於CyberOptics:CyberOptics Corporation成立於1984年,是一家領先的感測器和檢測系統供應商,為全球電子組裝和半導體資本設備市場提供能夠提升製程產量和處理量的解決方案。該公司正在將自身調整為一家針對電子和通用計量市場的高精度專有3D感測器開發商和製造商。該公司總部位於明尼蘇達明尼阿波利斯,透過在北美、亞洲和歐洲的部門展開全球營運。

聯絡方式:Stone Arch Strategies Lisa Grau,760-207-9090 lisa@graupr.com或Carla Pihowich,952-820-5837 Carla@stonearchstrategies.com

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