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愛德萬新電子束微影系統 獲3筆訂單

鉅亨網/ 2013.10.22 00:00
半導體測試設備領導者愛德萬測試(ATE-US)宣佈,全新電子束微影系統獲得產學界下單肯定, 3 筆訂單分別來自日本東京大學、京都大學與一家半導體客戶。預訂在明(2014)年 3 月會計年度內結束前會陸續完成交貨。

愛德萬測試指出,電子束微影系統F7000利用電子束技術,將精細接腳間距圖樣直接寫入基板,可為目前半導體研發關注的1Xnm製程,提供業界最高測試產能。此套系統同時具備自動清洗功能與調整器功能,前者可確保設備長期穩定運作效能,後者則可支援不同尺寸、形狀、材料的基板測試。

愛德萬指出,目前這 3 家F7000系列客戶,除將此系統應用在半導體晶圓與其他類型及尺寸的基板研究範疇,還將運用在MEMS/NEMS (非機電系統)、生物晶片、創新元件、電子零組件等領域的技術開發。

愛德萬強調,獲得這 3 筆訂單意義深遠,堪稱愛德萬測試跨入新市場,運用先進電子束微製造技術開創下一代電子元件研究發展的里程碑。

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