目前漢微科主要產品為電子束檢測設備，用途在偵測晶圓缺陷，占營收94.33%，產品上游主要為各零組件(供電設備、電子槍)供應商，所產製產品則透過整體經銷網路提供給下游終端使用者。
隨著晶圓製程持續縮微的趨勢，令傳統光學檢測上遭遇到物理極限，漢微科已率先開發電子束(E-Beam)檢測技術，歷經6年虧損，終於在2010年順利由虧轉盈，且客戶不僅涵蓋包括台積電(2330-TW)、Samsung等晶圓大廠，也已敲入美商美光(Micron)的檢測設備供應鏈，躋身晶圓量測設備大廠之林。
漢微科的設備技術目前已涵蓋90奈米、65奈米，以及45奈米製程的檢測設備開發與量產，並開始朝32、22奈米以下製程的檢測機台推進，隨著晶圓大廠陸續將製程往更細微的2X奈米推進，漢微科不僅持續靠著其電子束檢測技術領先業界、持續精進，在客戶上更將鎖定IBM、Global Foundry等半導體大廠持續拓展。
漢微科去年前3季營收達17.78億元，營業毛利10.33億元，稅後淨利4.87億元，EPS達8.12元，營收獲利均創下史上新高，法人推估，去年在新客戶持續增加下，獲利攀頂，絕對賺超過1個股本。