AI賦能智慧檢測！第26屆全國AOI論壇登場　工研院聚焦先進半導體與矽光子

【警政時報林照東／新竹報導】人工智慧加速導入製造產線，帶動自動光學檢測（AOI）技術升級。工研院與自動光學檢測設備聯盟（AOIEA）於10月1日在新竹陽明交通大學舉辦「第26屆全國AOI論壇與展覽」，邀集產學研專家及10家業者，聚焦先進半導體、矽光子、材料分析與智慧視覺，透過專題演講、技術展示及論文發表，促進智慧檢測技術交流與產業應用。

隨著先進製程朝更小尺寸、更高密度發展，製造產線對缺陷檢測與量測準確度的要求持續提高。傳統AOI正結合AI判讀、創新光學設計及邊緣高速運算，擴大應用範圍，成為提升產品品質與製程良率的重要環節。

工研院量測技術發展中心執行長暨AOIEA聯盟會長藍玉屏表示，檢測技術正從過去依賴規則與影像比對，進一步朝AI智慧判讀、高精度量測及AI原生應用發展。尤其面對先進半導體與矽光子等新製程需求，新一代AOI技術更重視智慧化、高精度及跨域整合。工研院期盼透過論壇串聯國內產學研的研發能量與產業需求，加速智慧檢測技術落地，為臺灣智慧製造與先進製程注入技術動能。

本次論壇上午安排3場主題演講，由威力工業董事長施作君分享「賦能蘭花產業的光學神經網路邊緣AI與AOI視覺技術的五大核心應用」；欣興電子數位長龔吉富以「AI Native for AOI Leaders」為題，探討AI與AOI整合發展；汎銓科技行銷業務處處長張仕欣則以「穿透缺陷本質：從微米到原子的材料鑑識技術」，剖析先進材料分析與缺陷檢測的技術發展。

下午4場專題演講由工研院、臺灣科技大學、陽明交通大學及中央大學分享，涵蓋矽光子、光學檢測可靠度分析、大面積高解析度技術與市場發展，以及自動化檢測等議題，呈現智慧檢測的多元應用方向。

現場同步舉辦「AOI專業展」及AOI技術論文發表會。其中，工研院量測中心展示半導體先進檢測技術「FOUP式EUV劑量量測儀」。據工研院介紹，該技術可在不中斷產線的情況下，即時量測極紫外光微影（EUV）曝光劑量，檢測效率提升8倍以上，為展場技術亮點之一。

參展業者另展示定量相位顯微模組、第三代半導體高速閃頻調光器、EtherCAT PCI Express運動控制卡、AI視覺引導機器人及次世代AI影像量測等技術，應用範圍涵蓋光學元件、影像量測、運動控制、智慧視覺與半導體製程檢測，展現AOI跨域整合的發展趨勢。

本屆參展業者包括新耀光科技、一寶實達、霖思科技、大銀微系統、新亞洲儀器、伯東國際、宇創視覺、馬路科技、台灣脈動及五鈴光學，共同展示智慧檢測相關技術與解決方案。

AOIEA成立於2004年，為串聯臺灣自動光學檢測產業的專業產學研平台，透過每年舉辦論壇與展覽，促進技術開發者、模組與元件供應者、設備製造者及設備使用者交流，推動檢測技術與產業需求接軌。

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