VOCs回收、High-NA EUV與臭氧水清洗　資騰四大應用搶攻半導體新局

佳世達集團羅昇旗下資騰科技宣布，將於9月10日至12日參加SEMICON Taiwan 2025，在台北南港展覽館1館4樓M0134攤位展出最新半導體製程與設備解決方案。此次以「先進製程」與「綠色創新」為主軸，聚焦智慧製造與淨零永續，推出包括VOCs液化回收系統、Fractilia FAME 300、液體即時監控平台與臭氧水設備等四大應用，展示高效率、低碳與潔淨製程的全方位布局。

資騰科技指出，隨著High-NA EUV技術逐步導入，以及ESG成為半導體製造標配，產業正面臨轉型關鍵。Morikawa VOCs液化回收系統可達99.9%的高回收率，並成功導入AI伺服器雙相浸沒式冷卻，協助資料中心降低碳排；Fractilia FAME 300則能即時掌握隨機性誤差，加速High-NA EUV量產導入；FlowVIEW液體即時監控平台透過AI影像辨識強化微粒管控，提升製程良率；EcoDesign臭氧水設備則以專利三重管設計穩定產出高濃度臭氧水，降低藥液使用量，革新晶圓清洗流程。

資騰總經理陳國榮表示，資騰結合國際技術與在地導入經驗，透過此次展會將完整呈現如何協助客戶從量測邁向控制，並在良率提升、AI應用與低碳製程上提供關鍵支持。他強調，資騰與國際夥伴的合作不僅深化價值鏈，更是產業邁向智慧製造與碳中和的重要節點。

除了核心製程設備外，資騰此次也與多家技術夥伴共同亮相，包含攜手友達數位展示iAMHS-AMR無塵室智慧搬運系統，與氫豐綠能呈現金屬板電堆及混氫發電專利應用，以及光陽光電展出光通信模組與封裝設備。透過跨領域合作，資騰期望推動先進製程與永續科技並進，搶攻全球半導體智慧化與綠色轉型新局。