龍華科大林宗新副教授師生團隊研發銅合金薄膜製程創新技術 榮獲2025日本東京設計創意暨發明展金牌榮耀
台灣產經新聞網/台灣發明商品促進協會
1 年前

【TIPPA特派員-東京報導】2025日本東京設計創意暨發明展於7月5日~7月6日在東京羽田機場花園展覽館盛大舉行,為世界發明智慧財產聯盟總會(WIIPA)旗下極具指標性的國際展覽之一。本屆展會集結全球超過二十個國家地區的發明好手,競爭激烈。來自臺灣的龍華科技大學半導體工程系林宗新副教授師生團隊,憑藉創新作品「銅合金薄膜於半導體製程應用及其製造方法」,在眾多參賽作品中脫穎而出,榮獲金牌肯定,展現龍華科大在高科技材料領域的卓越研發實力。
該項目由龍華科技大學林宗新副教授指導,與龍華科大的李傳婷、王鏡棠、李柏宏三位同學以及來自國立高雄科技大學的林佳美同學,共同合作完成,共同研發出具備高度應用潛力的創新材料技術。
本作品已獲得中華民國發明專利,所提出之技術聚焦於以銅與銠材料為基礎,開發出具有低電阻率與高熱穩定性的金屬薄膜鍍層。其製備方法包含使用真空濺鍍系統進行共濺鍍處理,並以特定的退火溫度與時間條件,成功提升鍍層性能。技術特點在於控制銠含量介於0.2 at%至1.5 at%之間,能有效改善銅薄膜在高溫環境下的穩定性與導電特性,為高性能半導體製程提供創新解方。
此創作具有高度商品化潛力,未來可廣泛應用於高頻、高溫運作需求的半導體元件中,提升製程效率與元件可靠度,對於我國半導體產業升級具有積極意義。
台灣發明商品促進協會(TIPPA)會長施養隆表示:「龍華科技大學本次以創新材料技術榮獲金牌,不僅代表臺灣高校在半導體核心技術研發上的持續努力,也彰顯臺灣在全球科技競爭中的領頭羊地位。TIPPA將持續支持我國優秀創新作品走向國際舞台,促成更多跨國合作與技術轉移的機會。」本次得獎不僅是對團隊研發成果的肯定,更象徵著臺灣在新材料與半導體產業鏈的創新實力。
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