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藍寶石基板,寶刀未老

台灣產經新聞網/銳隆光電有限公司 2024.08.06 00:00

藍寶石基板(sapphire substrate)是一種由氧化鋁(Al₂O₃)材料製成的晶片,因其優異的物理和化學特性,被廣泛應用於各種高科技領域。以下是藍寶石基板的詳細介紹,包括其生產過程和應用領域。

藍寶石基板的產品特性

高硬度:藍寶石的莫氏硬度為9,僅次於金剛石,使其具有極高的耐磨性和耐刮性。

高熱導率:藍寶石具有優良的熱導率,有助於散熱。

高透明度:在紫外至紅外波段內,藍寶石具有很高的透光性。

化學穩定性:對酸、鹼和其他化學試劑具有很強的抗性。

高絕緣性:具有優異的電絕緣性能。

藍寶石基板的生產過程

藍寶石基板的製造通常涉及以下步驟:

生長單晶藍寶石:

Verneuil 法:最早的人工生長藍寶石的方法,通過火焰熔融氧化鋁粉末並讓其凝固形成單晶。

Czochralski 法:將氧化鋁粉末加熱至熔融狀態,使用籽晶在熔融物中緩慢拉出單晶。

Kyropoulos 法:使用類似Czochralski的方法,但籽晶更緩慢地從熔融物中拉出,生長更大、更高質量的單晶。

切割與研磨:

將生長好的單晶藍寶石切割成薄片,通常使用鑽石鋸進行切割。

將切割好的薄片進行研磨和拋光,達到所需的厚度和平整度。

清洗與檢測:

進行多次化學清洗,去除表面的污染物。

進行光學、物理和化學檢測,確保基板的質量符合要求。

藍寶石基板的用途

藍寶石基板因其優異的特性,被廣泛應用於以下領域:

LED(發光二極管)製造:藍寶石基板是製造GaN(氮化鎵)基LED的主要材料,特別是藍光和白光LED。

RF(射頻)和微波設備:用於高頻率電子器件的製造。

光電子器件:如紫外探測器、光傳感器等。

半導體製造:用於一些特定的半導體器件,如GaN基高功率和高頻器件。

光學元件:如高精度光學透鏡和窗口,特別是在高溫和苛刻環境下使用。

手錶和高端手機屏幕:利用其耐刮和高透明特性製造耐用的屏幕和保護玻璃。

藍寶石基板在這些領域的應用,得益於其獨特的物理和化學特性,使其成為現代高科技領域中不可或缺的材料。銳隆光電在藍寶石材料加工方面積累了豐富的經驗,建立了嚴謹的加工流程,長期為多家大小企業提供加工服務,並建立了良好的口碑。

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