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陽明交大提高科技廠抗震能力 當護國群山的靠山

今傳媒/黃誌寬 今傳媒 2024.04.19 20:11

【今傳媒/記者黃誌寬報導】陽明交大土木工程系暨防災與水環境研究中心,自2016年起協助半導體廠開發與安裝爐管、倉儲系統防震裝置,這次403花蓮大地震,有效防制晶圓盒被震落,大幅提升科技界的抗震能力,減少震害損失。

高雄美濃於2016年2月6日發生芮氏規模6.6強震,重創南台灣高科技產業,損失逾千億台幣,顯示國內科技廠仍存在防震弱點。當時陽明交大土木系暨防災與水環境研究中心受半導體廠委託,針對震害損失較大的垂直爐管、自動化倉儲系統、天花板/庫版及推車/貨架等地震易損設備開發防震技術,並經由土木系大型結構實驗室的足尺地震模擬試驗,確認其可行性,獲得科技廠與保險公司認可,逐步在廠內推廣實施。

土木系王彥博教授指出,科技廠許多振動敏感性製程設備在地震中極易受損,其中自動化倉儲系統防護性較為不足,當地震強度達一定門檻時,架上滿載的晶圓盒就會震落,造成巨大損失。安裝消能減震控制的自動化倉儲系統能大幅降低振動反應,有效防制晶圓盒被震落,其減震成效在403大地震獲得充分驗證。

此外,無塵室天花板屬懸吊式系統,地震時作單擺運動但未與廠房結構之變形同步,會於周邊產生碰撞擠壓,造成天車軌道與設備的移位變形,甚至會崩落導致無塵室遭受汙染,不僅延宕復工時程,更添營運中斷損失。針對無塵室天花板的防震需求,陽明交大團隊協助科技廠安裝消能減震裝置,並在竹科完成一座12吋晶圓廠無塵室的天花板耐震補強工程,在本次地震中展現極佳防震性能。

科技廠提升結構與設備的抗震能力,都是期望地震時確保人事物安全無虞,並在最短時間內恢復產能,將可能的損失降至最低。半導體產業讓台灣成為舉世聞名的科技島,陽明交大因地制宜視不同需求規劃防震工法,期能完善高科技廠防震工程,做護國群山最穩固的靠山。

 

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