(中央社訊息服務20230220 16:05:50)東京--(美國商業資訊)--阿自倍爾株式會社（總部：千代田區丸之內2-7-3 社長：山本清博）使用MEMS*1加工技術強化了成膜措施，於1月25日開始銷售型號V8的藍寶石隔膜真空計。
半導體製程日益精進，與此同時，前段製程的成膜和蝕刻中使用的氣體種類也在增加。
根據製程氣體的種類，有時會在該工序中使用的真空計的感測器隔膜上形成膜，發生被稱為沉積的現象，所以會發生零點偏移的現象。因此，會增加真空計的調整頻率，無法按照計劃進行生產，這對半導體成膜和蝕刻裝置的使用者來說是一個大問題。
為了解決因使用新的氣體而不斷產生的這一課題，本公司開發並銷售了新產品。此次開始銷售的型號V8產品對感測器結構和通路等進行了全面的改進。使用MEMS技術，將感測器表面加工成凹凸不平的，儘量切斷膜的附著。另外，對以往產品的平面感測器也進行了應力*3平衡的改進，使感測器膜片的表面不易彎曲。透過這些措施，對因沉積而產生的零點偏移課題進行了改進，為本公司以往產品藍寶石隔膜真空計型號SPG的十分之一。
另外，還在產品陣容中增加了能夠在250℃的高溫下使用的分離型產品，能夠適應伴隨成膜工序中使用的ALD*4裝置的製程氣體的變化而產生的高溫環境。 ■特點 • 更好的成膜性能 運用MEMS加工技術，在成膜時將偏移量改進為本公司以往產品的十分之一。 • 耐250℃的高溫 為了對應製程氣體的變化，增加高溫規格的分離型（型號 V8S）的產品陣容。 • 體積更小，佔用空間更少 提高內部零組件的空間效率，實現與本公司以往產品相比體積縮小40%。 ■點選這裡查看商品詳細資訊 https://www.azbil.com/jp/product/factory/factory-product/transmitter/pressure/v8/index.html 本公司在azbil集團的「以人為中心的自動化」企業理念指引下，以實現對永續發展社會「直接」做出貢獻和永續發展為目標，今後也將繼續提供能夠解決生產現場的課題和滿足客戶需求的產品與服務。 *1 MEMS：Micro Electro Mechanical Systems的略稱。將微小的電氣元件和機械元件整合到一個晶片中，包括感測器在內的各種設備和系統 *2 Deposition：薄膜沉積製程。是指半導體製造工序中生成薄膜的成膜工序。 *3 應力：受到外力時，零件內部產生的內力。 *4 ALD：Atomic Layer Deposition的略稱。原子層沉積技術是一種利用真空的成膜技術。 免責聲明：本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用，煩請參照原文，原文版本乃唯一具法律效力之版本。 Contacts Azbil Corporation Public Relations Section Robert Jones Phone: +81-3-6810-1006 [email protected]