半導體展聚焦永續製造 奇鼎推ESG節能產品

SEMICON Taiwan 2022國際半導體展於今日（14日）在南港展覽館一館盛大展開，據主辦單位國際半導體產業協會（SEMI）指出，本次共700家國內外廠商參與，共計2450個攤位，規模創27年來新高。今年展出重點聚焦先進製程、異質整合、化合物半導體、車用晶片、智慧製造、永續製造、半導體資安及人才培育議題。

針對先進製程、化合物半導體和永續製造三大議題，精密環境溫控設備供應商奇鼎科技現場展出TCU-SE50製程精密溫濕度控制機組，該產品取消電熱器，使用熱回收技術，有利於溫度控制和穩定，減少設備能耗；體積較前世代縮小近7倍，佔地面積極小化，最符合晶圓6吋與8吋廠需求，確保製程良率。

除TCU-SE50，奇鼎現場亦有ESG節能產品導覽，從廠務端到製程環境，能降低半導體廠房消耗的大量能耗，亦減少碳排放量。其中製程高濃度AMC去除機組，可應用於塗佈、去光阻、蝕刻和濕式清洗的尾氣處理，較同業節能34%，去除效率高達90%以上。

奇鼎科技除深耕精密環境控制領域，重視半導體尖端產業發展，更將持續研發與拓展節能減碳產品，與國家和企業一同落實減碳目標。