全臺灣第一台可面分析成像的X光光電子能譜儀 逢甲正式啟用

全臺灣第一台可面分析成像的X光光電子能譜儀 逢甲正式啟用

(中央社訊息服務20220714 13:15:55)逢甲大學於7月13日舉辦X光光電子能譜儀(X-Ray photoelectron spectroscope，簡稱XPS)啟用典禮，並同步與格斯科技股份有限公司簽署合作備忘錄。逢甲向來極為重視學術研究和產學合作，非常感謝董事會全力支持購置本套系統，使逢甲為全臺灣第一所添置可面分析成像的X光光電子能譜儀的教研機構，有了該系統之後，不僅強化校內大工學系的整合，同時也將大大提升逢甲師生的研究能量，並對外服務促進產業升級。

這一台最新型XPS機種ULVAC-PHI VersaProbe 4，除了可以得知樣品的元素種類、含量、元素狀態、化合狀態、能隙以及功函數。更令人驚豔的是透過面掃描(Selected area mapping)的功能還可以得知樣品的元素、化合狀態、能隙及功函數二維分佈。

為了達到這些強大的分析功能，此機台的搭載Ar離子槍和20kV GCIB團簇離子槍(適用於陶瓷、玻璃、有機材料、複合材料)，可進行縱深分析(Depth profile analysis)功能，進階獲得材料表面數個奈米至數百微米之不同深度的元素分佈及化學狀態。

這些功能對於異質觸媒(Heterogeneous catalysis)、新材料、先進半導體結構、環境污染物、薄膜物質及文物鑑定等相關的研究開發可以說是一大利器；正式啟用之後，逢甲大學即將展開相應的學術與應用論壇以及人才培育教育訓練，未來正式運轉後也歡迎逢甲師生和產業界夥伴多加利用。