(中央社訊息服務20190805 09:24:11)東京--(美國商業資訊)--日本電子株式會社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)（總裁兼營運長：大井泉）宣布，將於2019年8月推出新型肖特基(Schottky)場發射掃描電子顯微鏡JSM-F100。
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―全新等級的智慧分析場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)，兼具高解析度和強大的可操作性―
背景
掃描電子顯微鏡(SEM)應用於不同的領域：奈米技術、金屬、半導體、陶瓷、醫學和生物學等。隨著應用範圍的擴大，SEM使用者需要快速、高品質的資料擷取及簡單的組成資訊確認和無縫操作。
JSM-F100搭載我們備受推崇的浸沒式(In-lens)肖特基Plus場發射電子槍和"Neo Engine"（電子光學控制系統），以及全新的GUI "SEM Center"和創新的「即時影像視覺增強器-人工智慧(LIVE-AI)濾鏡」，實現了高空間解析度成像和可操作性的最優組合。此外，標準的JEOL能量色散型X射線光譜儀(EDS)完全整合於"SEM Center"內，可實現從影像到元素分析結果的無縫採集。JSM-F100提供卓越的工作效率，高出我們之前的JSM-7000系列50%或以上，實現了生產量的顯著提高。
特性
1. 浸沒式肖特基Plus場發射電子槍
電子槍與低像差聚光透鏡的進一步整合帶來更高的亮度。低加速電壓下具有足夠的探頭電流，支援從高解析度成像到高速元素映射的各種功能。
2. 混合式透鏡(HL)
混合式透鏡(HL)將靜電場鏡和磁場透鏡相結合，支援各種樣品的高空間解析度成像和分析。
3. Neo Engine（新型電子光學引擎）
Neo Engine是一款先進的電子光學控制系統，可顯著提高自動化功能的精確度和可操作性。
4. "SEM Center"新功能
全新GUI "SEM Center"全面整合SEM成像和EDS分析，提供使用FE-SEM實現的下一代可操作性和高解析度影像。
5. "Zeromag"新功能
整合的"Zeromag"可實現從光學成像到SEM成像的無縫過渡，讓定位目標樣品區域變得十分輕鬆。
6. 全新LIVE-AI濾鏡*
透過利用人工智慧(AI)功能，整合的LIVE-AI濾鏡可以提供更高品質的即時影像。與影像融合處理不同，這款新的濾鏡能夠顯示無縫移動的即時影像，無殘留影像，對於快速搜尋觀察區域、對焦和散光像差補償器調整十分有效。
*選購
規格
解析度(1 kV) 1.3奈米
解析度(20 kV) 0.9奈米
加速電壓 0.01至30 kV
標準檢測器 高位電子檢測器(UED)，二次電子檢測器(SED)
電子槍 浸沒式肖特基Plus場發射電子槍
探頭電流 幾pA至300 nA (30 kV)
幾pA至100 nA (5 kV)
物鏡 混合式透鏡(HL)
樣品台 全優中心(eucentric)測角儀樣品台
樣品移動 X軸：70毫米，Y軸：50毫米，Z軸：2至41毫米
傾斜： –5至70°，旋轉：360°
EDS檢測器 能量解析度：133 eV或更低
可檢測元素：B（硼）至U（鈾）
檢測面積：60平方毫米
目標年銷量
60台/年
日本電子株式會社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉，總裁兼營運長
（股票代碼：6951，東京證券交易所第一部）
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