Gigaphoton研究部技術顧問鈴木章義先生獲頒「SPIE Frits Zernike Award」獎項，CTO溝口計先生獲選為SPIE會士

(中央社訊息服務20190213 14:09:15) 栃木縣小山市 -- (美國商業資訊) -- 半導體微影光源製造商Gigaphoton Inc.（總公司：栃木縣小山市；總裁：浦中克己）宣布，現任Gigaphoton研究部技術顧問的鈴木章義先生於國際光電工程學會（The International Society for Optics and Photonics：SPIE）獲頒「SPIE Frits Zernike Award in Microlithography」獎項，以及副總裁兼CTO的溝口計先生獲選為SPIE會士的消息。

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肯定兩位於業界締造之傑出成績及對於學會的莫大貢獻

微影技術最重要的學會 - SPIE在2002年創設Frits Zernike Award獎項，以曾在1953年因位相差顯微鏡榮獲諾貝爾物理學獎，並對微影技術做出莫大貢獻之Zernike博士的名字命名，是一項相當具有權威的獎項，甚至被譽為「微影業界諾貝爾獎」。該獎項僅頒贈給對於業界貢獻超卓的人士，受獎者至今僅14名，鈴木先生則為首位日本籍受獎者。受獎原因為表彰鈴木先生40年以上的職涯，對於接觸式曝光機、1:1掃描器、g線、i線、KrF步進相機、KrF/ArF/浸潤式掃描器、EUV顯影機、NIL等各種從草創期至今之微影裝置的技術革新具有卓越的貢獻。

鈴木先生發表了以下談話：「身為學術團體的SPIE能將此項榮譽頒贈給產業界人士，我認為正是我輩研發之微影技術具備科學性的一面，並且肩負起挑戰性高科技產業一環的最好證明。本人謹對一路共事的各位深表感謝之意。」

而在此同時，Gigaphoton的副總裁兼CTO溝口計先生也獲選為SPIE會士，此頭銜乃是為多年來對於微影技術具有貢獻的人士而設立。溝口先生由於近30年來從事DUV雷射（KrF/ArF/F2）到EUV光源等尖端產品的開發，成果豐碩，並有超過100篇以上的印證論文投稿，能夠獲選可以說是實至名歸，並且是全球第一位獲選為SPIE會士的光源技術者。由於溝口先生的獲選，包含前述的鈴木先生以及OB岡崎信次先生在內，該學會的6名SPIE會士當中已有3名為Gigaphoton的關係人士。

溝口先生發表了以下談話：「本次獲選為SPIE會士，我體認到這不僅僅是因為投稿論文，更是對於將論文敘述的技術與實際產品結合之各位Gigaphoton關係人士的努力的一大肯定。在此，我謹與各位同喜，並再次感謝各位。今後更將專注於推動技術開發及培育後進，必不辜負SPIE會士的盛名。」

＊2/25 於「SPIE Welcome and Plenary presentations」中進行鈴木先生、溝口先生的頒獎典禮。

＊2/28 於「GIGAPHOTON-SPIE Lunch Session」中，由鈴木先生、溝口先生進行演說。

GIGAPHOTON公司簡介 GIGAPHOTON公司成立於2000年，作為一家雷射器的供應商，自成立以來一直為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。GIGAPHOTON時刻以客戶為中心，從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。更為詳細的介紹請造訪：www.GIGAPHOTON.com

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