儀科中心厚植研發實力　打造學界研發創新實踐的夢工廠

【大成報記者羅蔚舟／竹科報導】
國家實驗研究院儀器科技研究中心（儀科中心）今（12/8）日舉辦「光學系統整合研發聯盟2018交流研討會」暨「國研院儀科中心技術服務推廣說明會」，來自北中南各大專院校的教授，以及涵蓋晶圓代工龍頭、精密光學製造、真空鍍膜以及半導體設備等廠商齊聚一堂進行深入交流，並且由台灣大學機械工程系陳亮嘉特聘教授以「創新三維光學顯微系統」為題，分享其團隊研究成果，引發在場產學研界專家熱烈迴響。

國研院儀科中心秉持著「支援前瞻研究、服務學術創新」的重要使命，是國內唯一可協助學術界理工醫農各領域開發前瞻研究所需客製化特殊儀器設備的單位，與各大學建立深厚的合作關係，提供儀器設備的研發合作或委託服務，積極鏈結學術能量，加速技術創新，打造儀器設備自研自製的築夢平台，培育國內下一世代之產業人才。

由台灣大學陳亮嘉特聘教授與機械系研究團隊所研發建置的「晶圓檢測精密量測平台與關鍵光學量測探頭模組」成果卓越豐碩，目標為運用於晶圓生產前段製程之精密量測或瑕疵檢測工程，未來可整合國內廠商所研發之電子束掃描探頭模組，開發晶圓N10新顯影製程計畫之缺陷檢測關鍵技術與設備。

國研院儀科中心累積40多年真空技術及光學設計與鏡片製作經驗，並突破大口徑非球面鏡技術瓶頸，為國內唯一能製作太空遙測衛星鏡片之研發單位。除持續支持國內太空科技所需之高階光學鏡片與遙測鏡頭開發，同時亦將此技術能量支援前瞻研究及服務學術創新，鏈結學研界能量，協助國內產業技術再升級。

「光學系統整合研發聯盟」自2013年成立交流平台以來，促成多件產學研三方合作之研究成果。國研院儀科中心期許能以深耕的光學及真空技術，提供學研團隊研發平台與技術服務，一起實現產業升級、設備加值的台灣新藍圖。

（圖由國研院提供／1.國研院儀科中心楊燿州主任(左)與台灣大學陳亮嘉特聘教授(右)合照。2.晶圓檢測精密量測平台上的平面參考面鏡。）