顯示器業生產良率啟新頁　應用材料推出首台高解析度電子束檢視系統

以材料工程技術不斷在設備上創新的應用材料公司，又研發出一亮眼新產品，推出顯示器產業第一台可在生產線上使用的高解析度電子束檢視（EBR）系統，可在生產線上進行非破壞性面板檢視，讓面板廠能更迅速達成OLED與UHD LCD產品的最佳化良率，為顯示器產業注入新概念、新活力。截至目前，應用材料公司的EBR系統已接獲世界前十大顯示器製造商中六家的訂單，並持續打開潛在市場。

應用材料公司是半導體產業 EBR 技術的領導廠商，2015年市占率超過70%。公司將原來運用在半導體元件檢視的先進掃描式電子顯微鏡技術，進一步結合在大尺寸顯示器的真空系統平台上，成為生產線上使用的EBR技術，以最快速有效的方式，在製造先進行動裝置與電視顯示器時，發現與分析造成良率損失缺陷的原因。

當製造商追求迅速、成本效益，創造良率極大化，更快速地向市場推出新型式顯示器時，應用材料公司的EBR系統已接獲世界前十大顯示器製造商中六家的訂單，且訂單需求持續增加中。

先進的顯示器科技需要增加更多的製程步驟，因而會帶進更多、更細微的汙染物及新型態的缺陷。目前在顯示器製造中所使用的自動光學缺陷檢測機台無法像掃描式電子顯微鏡（SEM）一樣有效地辨識致命與非致命的缺陷，或確認系統性地的起因。在應用材料公司尚未推出EBR系統之前，以SEM分析顯示器製品，需用破壞性檢視，必須將玻璃基板切割成小片以取得樣品，再分別將每塊小片於顯微鏡下做檢查。這不但耗資、耗時，還幾乎無法定位缺陷在整片面板上確切的位置。應用材料公司藉由提供製造線上的SEM檢視，以業界最高解析度及分析速度，又不需要破壞面板，可一舉解決上述的這些限制。

應用材料公司資深副總裁暨顯示器及相關聯產業市場事業群及全球服務事業群總經理阿里‧沙勒普爾（Ali Salehpour）表示：「嶄新的EBR系統是我們顯示器產品堅實的生力軍，能協助客戶解決OLED與LCD面板製造的嚴峻挑戰。結合應用材料公司獨特的兩項技術─半導體良率優化技術以及面板級掃描電子顯微鏡（SEM）技術，不但能開拓潛在市場，還能幫助客戶避開優化良率過程上高成本的耗損。新興應用如擴增實境與虛擬實境、智慧型載具等都需要形式上更好更新的顯示器。隨著這些應用的日益增加，我們的EBR正好是因運而生的解決方案，更是幫助客戶產品即時上市的推手。」

中國天馬微電子集團副總裁馬駿博士表示：「身為全球顯示器領導廠，天馬肯定與應用材料公司堅實的合作關係，有助於天馬發展新技術，生產符合消費者需求的高品質、高效能行動裝置顯示器。應用材料公司的EBR系統能縮短我們武漢廠從建廠到量產的時間，使我們有能力加速將更先進的顯示器技術迅速導入市場。除了EBR，我們也期待應用材料公司在行動顯示製造上引進更多半導體良率技術。」

（圖由台灣應用材料公司提供／應用材料公司為顯示器產業導入電子束檢視技術，有助於面板廠在衝高產能時能迅速提升良率。）