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找出「致命性」缺陷 台灣應用材料新一代電子束檢測系統提供高解析功能

大成報/ 2016.07.13 00:00
【大成報記者羅蔚舟/新竹報導】

台灣應用材料公司7/12日宣布,該公司新一代電子束檢測系統,提供了最高的解析度與影像品質,這套系統是唯一提供1奈米解析度的電子束熱點檢測機台,能幫助客戶檢測出其他技術找不到的最高難度「致命性」缺陷,並監控製程的極限,以快速解決產量拉升問題,達成更高的良率。

台灣應用材料公司的PROVision系統是業界最先進的電子束檢測機台,承續了該公司在電子束缺陷檢視和量測方面,超過20年的頂尖專業知識所發展出的創新技術,能夠讓頂尖的晶圓代工、邏輯產品、DRAM和3D NAND客戶,在邁入先進製程時,達成最快速的生產力。

台灣應用材料公司副總裁暨影像與製程控制事業部總經理鮑伯‧普爾瑪特(Bob Perlmutter)表示:「PROVision系統是我們領導電子束產品組合的最新生力軍,也是應用材料公司成長策略不可或缺的關鍵。我們的差異化電子束量測與缺陷檢測技術是業界最佳技術,在搭配客戶的新檢測方法使用時,可讓PROVision系統不只用於研發精進,也能應用於生產環境。」

PROVision系統的銷售動能漸增,出貨量已經超過十多台,包括來自龍頭晶圓代工廠與記憶體製造商的重複訂單。在2016年下半年,已另外排定出貨到現有及新增的客戶端。

SK 海力士(SK hynix)研發電子束檢測事業部權五長(Oh-Jang Kwon)博士表示:「PROVision系統獨特的高解析度與大量取樣功能,有助於我們的先進製程的研發,縮短解決方案與上市的時間。」

相較於現有的電子束熱點檢測機台,PROVision系統能提供快上三倍的生產力,並可在整個晶圓產品的生命週期期間,針對影響效能與良率的缺陷,保證能進行精確的製程特性分析、預測與檢測。PROVision系統的加入讓應用材料公司的電子束量測與缺陷檢視產品及光學圖案晶圓檢測產品線,更加相得益彰。

(圖由台灣應用材料提供/台灣應用材料的PROVision系統,能夠讓頂尖的晶圓代工、邏輯產品、DRAM和3D NAND客戶,在邁入先進製程時,達成最快速的生產力。)

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