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漢微科出嫁 ASML:雙方技術互補

中央社/ 2016.06.16 00:00
(中央社記者張建中台北16日電)荷商艾司摩爾(ASML)將斥資新台幣1000億元收購漢微科,ASML認為,雙方量測技術將具互補效益,兩公司結合,將有利協助客戶強化製程控制並提高良率。

漢微科宣布,與ASML簽署股份轉換契約,ASML將以每股1410元收購漢微科全部流通在外股份,交易總金額達1000億元,這宗交易案預計今年第4季完成。

ASML在與漢微科聯合新聞稿中指出,收購漢微科是為使先進技術與設備更加精進,透過雙方量測技術互補,將能協助客戶強化製程控制並提高良率。

隨著半導體製程技術不斷推進,10奈米以下及3D立體結構製程的製程技術及良率控制難度提高,需高密度、高解析度的量測技術,測量及控制半導體元件效能。

立體半導體製程也需要高密度、高電壓反差的量測,控制立體結構產品性能。

漢微科多年專注高解析度及電壓反差成像電子束產品及應用開發,位居電子束檢測設備龍頭,核心技術將可增加ASML包括微影曝光系統、運算微影及量測等全方位微影技術解決方案。

漢微科電子束量測技術可針對2D及3D圖案進行清楚的成像,ASML可藉此成像強化設計及製程模擬模型,有助ASML曝光機調整至最適狀態。

此外,漢微科在電子束檢測極紫光外光(EUV)應用於辨識光罩缺陷領域也具領導地位,未來也將有助提升ASML極紫光外微影系統平台效能。

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