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力晶:公告本公司取得美國專利局核發US 9230856專利

鉅亨網/鉅亨網新聞中心 2016.03.28 00:00
第七條第8款1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:具有氣隙的結構的形成方法2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/01/053.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$212,8944.其他應敘明事項:一種具有氣隙的結構的形成方法,包括下列步驟。在基底的圖案區中形成多個圖案。在基底上形成犧牲層,且犧牲層的上表面低於圖案的上表面,而暴露出圖案的多個上部。形成覆蓋犧牲層及圖案的上部的硬罩幕層。對硬罩幕層進行回蝕刻製程,以暴露出圖案區以外的犧牲層,且留在圖案區中的硬罩幕層封住圖案的上部之間的開口。移除犧牲層,而在相鄰兩個圖案之間形成氣隙。

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