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適用於智慧型感測晶片的派藍尼真空計

中央社/ 2016.03.07 00:00
適用於智慧型感測晶片的派藍尼真空計

(中央社訊息服務20160307 10:49:45)透過科技部工程司的應用型產學合作計畫,高雄應用科技大學光通所陳忠男教授與神匠創意股份有限公司開發出了與CMOS製程相容的派藍尼真空計,作為未來整合電子電路與感測元件在同一晶片的智慧型感測晶片技術的先期研發。

本計畫榮獲科技部工程司104年度「產學合作計畫成果發表暨績效考評會」電子資通組應用型計畫口頭簡報「傑出獎」。陳忠男主持人表示,這項計畫除了跳脫現有的技術框架,開發CMOS製程相容的感測元件技術外,更積極申請專利,建立自有技術,以提升國內微機電產業的競爭力。研究成果將衍生4篇專利申請案,包含2篇國內專利及2篇美國專利,完成後將整理數據發表於SCI期刊。

參與計畫的兩位碩士生畢業後分別任職於台積電及台積電策略性轉投資的封裝廠「精材科技」,在公司表現良好。合作廠商持續開發不同材料的感測器技術,並送樣驗證中。陳教授計畫與對此項新技術有興趣的廠商合作開發,進行新的產學合作。

本計畫以CMOS製程中用來改善接觸電阻的金屬矽化物材料作為感測電阻,並利用微機電正向蝕刻技術,成功製作出金屬矽化物派藍尼真空計元件。

本計畫所製作的感測元件晶片係利用TO5金屬體封裝方式進行元件封裝,將晶片上的電性以打線方式連結至金屬座上的腳位上。本元件的壓力量測範圍為0.01 Torr到10 Torr之間。

陳忠男博士任教於國立高雄應用科技大學光通所,目前擔任所長。他主持「微光機電系統實驗室」,整合了光電工程、半導體製程與微機電系統技術,發展微感測元件與系統相關領域的技術。歷屆的畢業學生多服務於相關科技產業,包括:台積電、聯電、世界先進、日月光、友達、瀚宇彩晶、加高電子、力成科技、南茂科技、國巨等公司,學生的表現備受業界雇主肯定。實驗室學生在競賽場中也有佳績,2015年參加台北國際發明暨技術交易展,以「熱電堆紅外線感測元件」榮獲金牌獎,另一組學生參加2015年半導體光電製程設備零組件與系統設計專題競賽,以「高靈敏度真空計」榮獲佳作。

完整報導歡迎至eTop科技部工程科技推展平台閱讀,網址為http://www.etop.org.tw/index.php?d=epp&c=epp13911&m=show&id=208

訊息來源:科技部工程科技推展中心

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