行政院2015年9月4日公告修正鬆綁國內晶圓廠登陸，但赴中國大陸投資新設晶圓鑄造廠或購併、參股中國晶圓鑄造廠，不得為超過12吋晶圓鑄造，且新設廠採總量管制原則，以核准投資12吋廠3座為上限；購併、參股投資中國晶圓鑄造廠則無數量限制。
台積電去年12月7日向投審會遞件申請，投審會後續送陸委會、勞動部、環保署、金管會證期局、銀行局、中央銀行外匯局、經濟部工業局、技術處、國發會、國安局、新竹科學工業園區管理局等單位審查，並由工業局邀集產官學專家舉行關鍵技術小組會議審查，今天由投審會召開委員會議正式通過。