行政院2015年9月4日公告修正鬆綁國內晶圓廠登陸，但赴中國大陸投資新設晶圓鑄造廠或購併、參股中國晶圓鑄造廠，不得為超過12吋晶圓鑄造，且新設廠採總量管制原則，以核准投資12吋廠3座為上限；購併、參股投資中國晶圓鑄造廠則無數量限制。
台積電去年12月7日向投審會遞件申請，投審會已排入3日委員會議議程，明天中午將召開會議，將邀集勞動部、工業局、國安局、金管會等相關單位審查。
屆時審查重點將有5大項，包括投資製程技術須落後該公司在台灣製程技術1個世代以上、申請人以新設或併購投資應有主控權、在台應有相對投資及研發、投資應可取得全球市場優勢地位或可擴大全球市場占有率、不得因大陸投資而裁減台灣員工等。
至於在台相對投資比例，投審會官員表示，待明天會議才能確定。
由於台積電申請赴中國大陸南京設12吋晶圓廠採獨資、未有陸資參股，預估通過機率大，一旦通過，將是台灣企業歷年赴大陸單一投資最大金額。