政府去年9月鬆綁12吋晶圓廠獨資登陸，台積電於同年12月7日遞件申請，依程序，文件齊備後則送資料給參與審查的陸委會、勞動部、環保署、金管會證期局、銀行局、中央銀行外匯局、經濟部工業局、技術處、國發會、國安局、新竹科學工業園區管理局等單位。
此外，工業局也需邀集產官學專家召開關鍵技術小組開會審查。工業局長吳明機日前透露，關鍵技術小組正就半導體相關布局審查，結論報告預定月底送投審會。
工業局電子資訊組組長楊志清表示，按照程序，關鍵技術小組開完會後，會將會議記錄送至投審會，由投審會排定委員會議。他強調，會趕在開會前送出會議記錄。
至於審查重點，楊志清指出，包括如何確保技術不外流、如何帶動就業、國內相對投資等項目
由於依照過去慣例，投審會通常在每月下旬召開委員會議，但過去也曾有配合經濟部次長時間，將開會時間延至次月初。投審會表示，不排除配合台積電案件，將原訂1月底舉行的委員會議，延至2月初召開。