政府去年9月鬆綁12吋晶圓廠獨資登陸，台積電於同年12月7日遞件申請。雖然新執政團隊仍未就定位，不過，經濟部長鄧振中昨天明確表示，看守內閣期間不推新的政策，已有明確法規及機制的政策方向，如半導體赴陸設廠案就是廠商依法令架構下提出的個案申請，仍會依程序審查。
經濟部工業局長吳明機表示，關鍵技術小組正在就半導體相關布局審查，結論報告預計月底會送投審會。
他說，審查重點為關鍵技術的保護措施，避免造成技術外流；台積電已是國際頂尖公司，對半導體技術相關保護措施非常完善，也成為業界標竿；但工業局還是要再加以確認未來在大陸是否落實，且台積電採獨資方式設廠，更能確保機密技術，工業局也「樂觀其成」。
吳明機指出，台積電、英特爾、三星是全球半導體的標竿企業，在彼此競爭下，研發一定不能停，否則將會被超越。他相信，未來台積電也會加快在台灣的新製程研發。
投審會執行秘書張銘斌表示，預定月底舉行的委員會審查將以台積電案為主，如果委員沒有其他意見，農曆年前過關「有這個可能性」。