電子束晶圓檢測設備大廠、股后漢微科2015年全年合併營收為新台幣66.52億元，年減8%。毛利率為70.3%、營業利益率37%、稅後淨利為23.22億元，年減28%，每股稅後盈餘為32.7元，年減28%。
漢微科2015年第4季合併營收為17.25億元，較第3季增加65%，第4季稅後淨利為7.26億元。2015全年毛利率為70.3%、營業利益率為37%、稅後淨利為23.22億元，較去年同期減少28%，每股稅後盈餘為32.7元，較前年2014年減少28%。
漢微科表示，去年下半年因諸多整體經濟不確定因素，及智慧型手機、平板電腦等高端電子產品消費成長放緩，庫存調整時間拉長，且能見度較低，因此半導體廠商資本支出計畫較上半年度更為保守，致使漢微科檢測機台出貨及收入認列時間點不確定性提高。
展望2016年，漢微科表示雖整體環境仍充滿挑戰，但邏輯半導體領先廠商仍持續投入10奈米以下先進製程研發及量產，記憶體半導體製程也持續微縮演進，並往立體結構發展。此等科技發展及技術演進使製程難度增高，良率控制不易，各半導體廠商對於具備高解析度之電子束晶圓檢測機台需求逐步成長，因此公司對於未來發展保持樂觀，長期營運目標維持不變。