金屬中心與Semi Taiwan合作於9/2~9/4 Semicon 2015首次建立「工業局半導體設備零組件專區」，展示多項自主化設備、零組件等多項成熟並導入市場之產品，如：漢鐘乾式真空幫浦、馗鼎奈米電漿應用設備、棕茂精密陶瓷加工、京鼎應用精密加工，另展示多項創新技術產品如：電漿式尾氣處理系統、EFEM系統、12吋晶圓乾加濕複合式蝕刻設備等高值化產品，希望建立買主對台灣產品的信賴度。
本次最大展示亮點為金屬中心針對市場缺口獨家建立之零組件功能性測試平台，提供國內零組件廠先行模擬產線環境之測試，便利廠商於產品開發完成後、進入國內終端商或外商產線測試前，能夠依不同零組件之性能測試其需求，此外也提供真空、流場、電漿..等測試方法，可有效偵測產品微錯誤，進而縮短產品開發時程、降低人物力成本，並強化終端商使用信心。
此次「工業局半導體設備零組件專區」將於9月2日(三)至9月4日(五)在南港展覽館一樓K區(攤位編號:2442)展出，歡迎各界共襄盛舉。
訊息來源：財團法人金屬工業研究發展中心