SEMICON Taiwan 明開展 志聖、由田等設備廠參展

志聖工業明起參與2015半導體展，展覽將以「自動化熱製程設備」為主題，圖前為志聖董事長梁茂生、後為總經理王佰偉。(鉅亨網記者張欽發攝)

由國際半導體產業協會(SEMI)所舉辦的SEMICON Taiwan展覽，明(2)日至4日在南港世貿展覽館揭幕，設備廠包括志聖(2467-TW)及由田(3455-TW)均參與展出，志聖工業指出，參與此次展覽將以「自動化熱製程設備」為主題，介紹全新開發完成的半導體恆溫式無塵烤箱、自動化真空烤箱、自動化無塵無氧烤箱等產品，同時也強調其節能效果。

志聖工業指出，在此次展覽中所介紹的「恆溫式無塵烤箱」，可用於晶圓的去水烘乾及封膠後烘乾，產能是業界常用「昇降溫式烤箱」的4倍。同時，專利的V型爐門夾縫式開口設計，氣密性佳、熱散逸低；恆溫設計使HEPA的捕集效率可以維持在最佳狀態，爐內潔淨度可達Class 10。每年可為客戶在製程中減少50% 的氮氣耗氣量並減少60% 的耗電量，整體節能可以超過50%。此產品業已在國內半導體大廠完成裝機，並進行認證中。

成立已49年的志聖工業由傳統的製鞋、印刷產業光與熱能設備生產出發，並已擴及PCB、面板、LED半導體及太陽能產品的生產，志聖指出，志聖對於研發資源的投入，49年來志聖一向不遺餘力，深耕多領域產業之電子製程設備開發多年。因其對「熱」的核心技術，及優異的研發及創新實力，才能在8月以「G8.5面板高效節能熱風多層爐」獲得經濟部工業局所頒發的平面顯示器元件產品技術「傑出產品獎」後，再次推出先進、自動化、節能的綠色半導體製程設備。

「SEMICON Taiwan國際半導體展」是台灣半導體產業的年度盛事，匯集世界頂尖半導體科技廠商參與，主辦單位指出，今年的展出吸引將近700家國內外大廠，參與展出廠商使用超過1400個攤位。