台積電曾多次建議，希望政府開放12吋晶圓廠獨資登陸，先前更在行政院科技會報中當面向行政院長毛治國提出需求。
經濟部幾經評估，考量中國大陸市場規模逐年增加、國際大廠已至大陸布局、大陸傾全力扶植本土半導體產業、業者需有更大彈性運作空間因應，以及面板前車之鑑等5大原因後，決定鬆綁12吋晶圓廠獨資登陸。
沈榮津語重心長地說，過去政府錯失開放面板赴大陸投資的最佳時機，導致中國大陸本地面板廠藉由龐大市場及政策補貼崛起壯大，現已影響台灣面板產業生存，更以「前車之鑑，殷鑑不遠」形容此次政府鬆綁晶圓廠登陸的考量。
經濟部下午正式預告修正「在大陸地區從事投資或技術合作禁止類製造業產品項目」部分項目，即開放12吋晶圓廠獨資登陸，未來赴大陸投資新設晶圓鑄造廠或併購、參股大陸晶圓鑄造廠，不得超過12吋晶圓鑄造。
此外，新設晶圓鑄造廠也比照過去採總量管制原則，以核准投資3座12吋廠為上限，併購、參股投資大陸晶圓鑄造廠，則無數量限制，但投資製程技術須落後該公司在台灣製程技術1個世代以上。
經濟部以台積電、聯電為例，目前最先進製程且已經量產為16奈米、28奈米。
上述修正項目經預告7天，經濟部後續彙整相關意見後，將函報行政院核定、生效，經濟部盼能在8月底前正式公告生效。
由於目前尚未有其他廠商向經濟部徵詢，僅台積電曾表達意願，此次鬆綁12吋晶圓廠獨資登陸，如同為台積電而設的「台積電條款」。
未來台積電向經濟部投審會遞件後，工業局將召開關鍵技術小組就計畫書內容從資金面、技術面、就業面、產業面等4大方向進行審議，若相關文件齊備，可望在2個月內審核通過。
為減少對國內衝擊，經濟部也設下6項把關機制，包括申請人以新設或併購方式投資應有主控權、台灣應有相對投資及研發、以及大陸晶圓鑄造廠生產技術，若運用台灣母公司技術者，須支付台灣母公司合理報酬或權利金。
另外，投資應對台灣經濟發展有重大貢獻、投資應可取得全球市場優勢地位，或可擴大全球市場占有率、不得因大陸投資而有裁減台灣員工情形。
經濟部以台積電為例，其中科擴廠案即屬於在台相對投資，屆時投資申請案也將綜合景氣、成本、產值、良率等因素加以考量，並由關鍵技術小組判斷。
根據經濟部資料顯示，新設1座12吋晶圓廠成本約新台幣1000至1200億元，規模更大者可能超過1500億元。