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中鋼榮獲第十八屆傑出光電產品獎

大成報/ 2015.06.16 00:00
【大成報記者吉雄世╱高雄報導】中鋼公司以「光電產業用低氧鈦靶材」榮獲「第十八屆傑出光電產品獎」,頒獎典禮於6月16日在台北世貿中心南港展覽館舉行,由總經理宋志育代表接受吳副總統頒獎。

政府為鼓勵國內光電廠商開發出具有創新技術與市場優勢之光電產品,以提升我國光電產業之競爭力,在國科會指導之下,光電科技工業協進會辦理「傑出光電產品獎」甄選,由各界專家、學者評選出具有創新價值的光電產品。今年中鋼以「光電產業用低氧鈦靶材」報名角逐,經過嚴格的評審,極為難得的從50餘家競爭廠商中脫穎而出,榮獲傑出光電產品獎,且以傳統產業,獲得代表高科技的傑出光電獎實屬不易,顯示中鋼在特殊合金領域耕耘有成。

中鋼得獎之「光電產業用低氧鈦靶材」是由中鋼精材煉胚、中鋼軋延、鑫科接合,發揮中鋼集團綜效所開發之3C產品,目前主要供應給國內兩大龍頭面板廠及中國重要的光電企業,用於製作液晶顯示器中薄膜電晶體的擴散阻絕層材料。面板廠以濺鍍製程,將純鈦靶製作成薄膜電晶體中的擴散阻絕層時,常遭遇兩大製程問題,首先為濺鍍後,擴散阻絕層鈦薄膜中的鐵、氧等雜質含量過高,雜質原子擴散進入導電層,影響電子訊號傳輸;其次為鈦靶濺鍍速率過低,造成業者量產時生產成本提高及產能利用率下降。

中鋼研發團隊建立『真空電弧熔煉』、『控溫軋延』及『熱處理調質』三項核心製程技術,使鈦靶同時具備『高純度低雜質』、『細晶』及特殊的『集合組織』三項特性,成功克服客戶這兩項製程問題。隨著中鋼與中鋼精材落實這三項核心技術,中鋼鈦靶已正式銷售給最主要的光電公司應用於8.5代產線。未來隨平面顯示器銅製程及低溫多晶矽LTPS製程產能開出後,鈦靶使用量將大幅成長,估計每年約可為國內光電用靶材產業創造3億元產值。

繼鋁靶及鈦靶連續獲得傑出光電產品獎之後,中鋼集團將持續善用多年來在金屬領域所建立的冶金技術優勢,推出優質的鉬靶及銅靶,全面供應光電產業所需的高品級金屬靶材,提升國內光電產業的競爭力。

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