瑞耘靜電吸盤助客戶拿訂單

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11 年前

（中央社記者張建中新竹2015年5月26日電）半導體零組件廠瑞耘(6532)布局靜電吸盤開花結果，成功協助蝕刻機台客戶通過台積電(2330)認證，取得全球維修合約。

靜電吸盤為半導體電漿製程設備主流晶圓承載器，主要在製程反應中以靜電吸附的原理固定晶圓，讓晶圓不受氣體流動等因素影響浮動，並有溫控及氦氣導熱功能，讓晶圓保持均溫及冷卻。

近年隨著電漿製程延伸至面板、先進封裝及微機電(MEMS)等領域，甚至自動化領域也開始嘗試導入，帶動靜電吸盤需求不斷擴增，估計目前市場約新台幣150億元規模。

瑞耘在多年開發，與台大應力所合作，建立靜電吸盤維修、測試及電漿模擬等技術，成功協助蝕刻機台客戶通過台積電認證，取得全球維修合約。

瑞耘目前也與全球設備龍頭廠合作開發靜電吸盤技術相關的12吋晶圓加熱器產品。法人看好，靜電吸盤及加熱器將是驅動瑞耘未來營運成長的新動力。

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