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台積電7奈米 2018年試產

中央商情網/ 2015.04.30 00:00
(中央社記者張建中新竹2015年4月30日電)晶圓代工廠台積電(2330)持續積極衝刺先進製程技術,10奈米製程預計2016年量產,7奈米將於2018年試產。

台積電在2014年年報中指出,16奈米鰭式場效電晶體強效版(16FF+)製程技術去年第4季已完成所有可靠性驗證,7月可望進入量產,預期今年底前將可完成近60件客戶產品設計定案。

至於10奈米製程,台積電2014年研發著重於基礎製程制定、良率提升、電晶體效能改善及可靠性評估;預計今年進入試產,年底將有客戶產品設計定案,明年開始量產。

至於7奈米製程,台積電2014年開始進行進階研發,今年研發將著重於電晶體結構選擇、電晶體與導線的基本製程制定,及初步可靠性評估。

台積電明年將進行7奈米全面開發,預計2018年進入試產。

在微影技術方面,台積電表示,隨著解析度的強化,加上針對20奈米及16奈米開發的先進曝影技術,讓浸潤式微影技術能夠滿足10奈米技術的要求。

台積電同時指出,去年引進了第2台NXE3300極紫外光(EUV)曝光機,正與艾司摩爾(ASML)合作提升設備能力,以達到7奈米製程技術的要求;另外,針對7奈米以下製程,正評估多重電子束直寫技術。

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