近年來南部地區水源長期匱乏，供水量逐漸緊縮，加工處為因應區內廠商後續面臨之用水及放流水量增加等問題，同時配合水利署永續發展回收再利用之目標，故於97年與水利署首創跨機關合作，建置回收規模達1,800CMD之國內第一座工業綜合廢水再生利用模型廠，並進行一年的運轉驗證，獲得寶貴的操作參數及經驗。
值得一提的是，加工處為將模廠規模推廣至實廠，於101年訂定輔導廠商建置中水回收廠之目標，預計打造國內首座於同一園區內由模廠推動至實廠之水資源示範園區。此項理念獲得日月光公司支持並著手推動，於籌劃實廠期間，加工處除提供模型廠寶貴的操作參數給日月光公司參考外，並首創環保協處平臺機制，邀集相關許可權責機關，以會議討論方式溝通歧見，便於審查可儘速核可，減省公文往來時間，提高行政效率。
歷經3年籌劃興建，該廠預計分為兩期進行，於103年完成第一期建設，其規模每日可處理約2萬噸廢水(19,000噸)，回收約1萬噸廢水(9,500噸)，目前仍在進行功能測試階段，後續取得環保局排放許可後，即可營運產水。第二期預計於106年上半年完成，全期規模每日可處理約4萬噸廢水，回收約2萬噸廢水，營運後每日可節省2萬噸自來水使用，也減少2萬噸廢水排放。
加工處黃文谷處長表示，對於楠梓園區由模廠推動至實廠之過程及經驗，可提供後續各機關及廠商參考，其中首創環保協處平臺機制及模型廠操作參數，更是讓日月光中水回收廠順利完成之關鍵，加工處歡迎各界索取參採，而與日月光公司進行再生水廠推動興建之前瞻性作法，將提供楠梓園區相關產業廢水回收之專業技術與實務經驗，期望未來可推廣應用至各園區，為水資源永續利用與環境保護盡一份心力。