不放過1滴水 台積電節水效率冠同業

台灣正面臨嚴重乾旱危機，石門水庫供水區啟動三階限水，採供水5天停水2天措施；台積電中科晶圓15廠首度開放媒體參觀節水與水處理設備，推廣及分享節水方法。

台積電12吋晶圓廠廠務處副處長陳鏘澤表示，台積電用水策略及管理目標是致力回收水技術開發及應用，以達成最大回收再利用的成效，創造每單位用水最大產值，成為半導體業高節水效率的生產工廠。

台積電用水策略及管理方法及重點有建立有效用水管理指標，內部定期跨廠區管控，並強化有效分流源頭管理對策，同時積極推展回收水再利用的涵蓋率。

陳鏘澤指出，台積電針對不同機台特性，依廢水等級回收分流處理再利用，中科晶圓15廠即設置有多達25類排水管路。

陳鏘澤說，內部連量測水質的用水也回收再利用，雖然回收水量不多，不過，充分展現台積電在節水上「連1滴水也不放過」的精神。

台積電1滴水用了3.5次，全公司平均製程回收率達87.5%，陳鏘澤表示，今年目標將提升至1滴水用4次；台積電1天產生24萬噸回收水，1年產生多達8760萬噸回收水。

台積電生產每平方公分晶圓用水量約5.66公升，節水效率為美國廠商的3倍，為日本廠商的2倍，是韓國廠商的1.5倍左右，晶圓單位面積用水量也低於台灣業界的5.74公升水準。

台積電12吋廠廠務資深處長莊子壽透露，台積電1年環保節水設備上支出約新台幣8億元。台積電一方面積極節水，另台積電也與水車業者簽約，以備不時之需。