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台積電省水有成 1滴水用3.5次

中央社/ 2015.04.09 00:00
(中央社記者張建中台中 9日電)晶圓代工廠台積電節水成效佳,目前1滴水用了3.5次,今年目標將達 1滴水用 4次。

台積電今天邀請媒體參觀位於中部科學工業園區的晶圓15廠,由廠務處副處長陳鏘澤說明台積電水資源管理作法,並安排實地參觀潔淨室機台節水與水處理設備。

陳鏘澤表示,目前台積電每平方公分晶圓用水量約5至6公升,節水效率為美國廠商的3倍、日本廠商的2倍;目前全公司平均製程回收率達87.5%。

陳鏘澤說,要做好製程水回收,應強化有效分流的源頭管理,依水質分級回收分流處理再利用;中科晶圓15廠排水管路有多達25類。

陳鏘澤表示,目前台積電1滴水用了3.5次,今年目標將達1滴水用4次;台積電全台1天用水量約9萬噸,產生24萬噸回收水,1年產生多達8760萬噸回收水。

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