台積電今天邀請媒體參觀位於中部科學工業園區的晶圓15廠，由廠務處副處長陳鏘澤說明台積電水資源管理作法，並安排實地參觀潔淨室機台節水與水處理設備。
陳鏘澤表示，目前台積電每平方公分晶圓用水量約5至6公升，節水效率為美國廠商的3倍、日本廠商的2倍；目前全公司平均製程回收率達87.5%。
陳鏘澤說，要做好製程水回收，應強化有效分流的源頭管理，依水質分級回收分流處理再利用；中科晶圓15廠排水管路有多達25類。
陳鏘澤表示，目前台積電1滴水用了3.5次，今年目標將達1滴水用4次；台積電全台1天用水量約9萬噸，產生24萬噸回收水，1年產生多達8760萬噸回收水。