日月光於楠梓加工出口區內興建的中水回收廠，總投資金額新台幣11.5億元，是目前全國回收使用量規模最大的工業廢水回收廠。
回收廠第一期已完工，斥資7.5億元，每日可處理約2萬噸排放水，回收使用約1萬噸；第二期工程預計民國106年上半年完工運轉，未來中水回收廠全期完成後，每日可處理約4萬噸放流水，回收使用約2萬噸，未來每年節水效益約700萬噸，每年將省下相當於3000個奧林匹克標準游泳池的水量。
中水回收廠處理後的水為RO水，可有效回廠再利用，RO水的乾淨程度是自來水的20倍，而中水回收廠處理後所排出的放流水，水質標準也比原先未經處理的排放水標準高出40%。從各廠區進流水經由中水處理廠處理完成，僅需8小時，即可回收再利用。
日月光也將配合周邊鄰里、各級學校及民眾，設計環境保護教育戶外教學，及水資源回收再利用導覽行程，使中水回收廠，除了發揮節水功能外，更賦予環境永續發展的教育意義。
張虔生表示，這套系統以X光殺菌，因此成本較貴。
環保局已核定中水回收廠試車，試車期間為今年1月15日起至4月15日，日月光需在期限內完成環保局審查核准的試車計畫項目及功能測試，審查通過後即可正式啟用，目前均依進度進行。
中水回收廠的淨水流程，為收集放流水後，在前瑞處理採用生物活性碳系統，使COD(化學需氧量)下降以減少生物滋長的營養來源，來保護後段薄膜不受生物汙堵(Bio-Fouling)影響。
接著，再經MMF單元(多層過濾器)處理，藉由砂濾篩除的原理使懸浮固體物去除率達到99.9%，最後經由UF (超濾)及RO(逆滲透)單元有效攔阻細小顆粒及膠體物質等污染物而提升處理水質。