回到頂端
|||
熱門:

艾司摩爾EUV機台出貨台客戶

中央社/ 2014.09.03 00:00
(中央社記者張建中台北3日電)半導體設備廠艾司摩爾(ASML)亞太區技術行銷協理鄭國偉表示,第3代極紫外光(EUV)機台已出貨6台;其中,台灣地區至少出貨1台。

鄭國偉今天接受媒體訪問時指出,ASML的EUV機台發展已有不錯進展,已有2家客戶晶圓處理能力測試結果達每天曝光超過600片晶圓。

他說,ASML的EUV機台預計2016年底將達每天曝光1500片晶圓的處理能力,協助客戶用EUV機台量產10奈米製程。

鄭國偉表示,第3代EUV機台NXE:3300B已出貨6台,其中,台灣地區至少出貨1台;鄭國偉說,當時出貨台灣客戶曾出動11架次747飛機載運。

鄭國偉指出,ASML今年下半年至明年初將再出貨5台NXE:3300B。他並表示,第4代EUV機台NXE:3350正組裝中,預計明年可出貨。

社群留言