鄭國偉今天接受媒體訪問時指出，ASML的EUV機台發展已有不錯進展，已有2家客戶晶圓處理能力測試結果達每天曝光超過600片晶圓。
他說，ASML的EUV機台預計2016年底將達每天曝光1500片晶圓的處理能力，協助客戶用EUV機台量產10奈米製程。
鄭國偉表示，第3代EUV機台NXE：3300B已出貨6台，其中，台灣地區至少出貨1台；鄭國偉說，當時出貨台灣客戶曾出動11架次747飛機載運。
鄭國偉指出，ASML今年下半年至明年初將再出貨5台NXE：3300B。他並表示，第4代EUV機台NXE：3350正組裝中，預計明年可出貨。