不怕漢微科搶單 科磊：晶圓檢測市場 光學檢測仍佔85-90%

美商科磊總裁Rick Wallace表示，電子光束不可能取代光學檢測。(鉅亨網記者許庭瑜攝)

外資券商曾指出，漢微科(3658-TW)在電子光束檢測(E-beam)上的領先，導致KLA市佔率下滑，對此(科磊)美商科磊總裁兼執行長Rick Wallace表示，這僅是短暫的。再者，目前整體晶圓檢測市場上，光學檢測仍有85-90%的市佔率，電子光束僅10-15%，此現象已經維持好幾年，未來幾年也會持續如此。

Rick Wallace進一步分析，的確電子光束檢測在這幾年需求增加，但主要是因為整個市場需求一起增加，若是從比例來看，其實光學檢測和電子光束的佔比是沒有太大改變的。「十多年前就有人預言光學檢測將會完全被電子光束取代，但現在來看，我們還活得好好的。」

KLA除了光學檢測外，同時也有E-beam檢測，但Rick Wallace表示，最近客戶在E-beam的使用度上有減少的趨勢，主因新推出的光學檢測儀器可以掃描比以往更小的瑕疵，但速度比光學檢測快多了。由於電子光束檢測太慢，通常客戶只會在研發過程中使用這類的檢測方式，但真正要投入量產的階段，花的時間與金錢就多出太多。不過即使是在研發的過程，客戶也可能會電子光束與光學檢測同時使用。

Rick Wallace解釋，若只檢測單一個晶圓裸片，電子光束檢測需要花7天的時間，但光學檢測只要七分鐘，這中間的差距就成為了極大的成本考量，不只是時間，通常也不太會有公司願意付這樣的錢去做這件事，因此對於出貨、市佔率上，還是很有信心。

同時為了因應檢測市場持續成長，KLA也宣布位於台灣新竹的新訓練中心正式開幕，提供與客戶緊密相連的一個訓練場所。此訓練中心將負責美商科磊的台灣及全球員工之在職進修，同時也提供世界各地客戶相關訓練。同時預估今年將會招募人才約30-50人。