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紐大全球450mm聯盟相中SOKUDO浸潤ArF微影Track技術

(中央社2014年2月25日電)根據美國商業資訊報導,大日本SCREEN製造株式會社(Dainippon Screen Mfg.)證實,其子公司開發的SOKUDO DUO 450mm塗層/顯影系統(coat/develop track system)已被總部位於奧爾巴尼市紐約州立大學(SUNY)奈米科學與工程學院(CNSE)的全球450mm聯盟(G450C)相中,用於浸潤式ArF微影技術和定向自組裝(DSA)應用。

SOKUDO DUO將被嵌入位於CNSE的NanoFab Xtension內由大日本SCREEN提供的成套450mm清洗設備中。大日本SCREEN提供的450mm晶圓刷洗機、單晶圓清洗以及毫秒退火系統將部署在G450C計畫安裝的設備中。G450C是由紐約州州長安德魯‧庫默(Andrew M. Cuomo)於2011年9月宣布設立的公私協力(public-private partnership, PPP)聯盟,旨在促進該產業向新的標準450mm晶圓尺寸轉型。該聯盟由CNSE聯合英特爾(Intel)、IBM、GLOBALFOUNDRIES、三星(Samsung)和台積電(TSMC)帶頭創立。

SOKUDO DUO擬採用與450mm浸潤式ArF微影系統一致的介面,並將於2014年夏季運抵紐約州奧爾巴尼市G450C總部,屆時將啟動所有安裝與參數特徵化工作。此舉極力回應並支援2013年7月紐約州發布的一份公告,該公告計畫將於2015年4月向CNSE提供一套450mm晶圓ArF浸潤式微影系統。值得注意的是,作為與G450C達成協議的一部分,SOKUDO也將提供450mm虛擬晶圓廠track製程支援,從而實現450mm DSA圖案化測試晶圓製造用於G450C成員的開發設備。DSA圖形化功能也將整合到SOKUDO DUO中,用於輔助採用浸潤式ArF曝光的微影技術。

SOKUDO Co., Ltd.執行長兼大日本SCREEN半導體設備公司總裁須原忠浩(Tadahiro Suhara)表示:「總部位於紐約州的G450C及其成員公司是450mm晶圓轉型的先驅,能夠與他們並肩合作我們感到十分高興。大日本SCREEN集團參與G450C專案的深度印證了我們在450mm半導體製造設備開發中的領導地位。尤其值得自豪的是該專案選擇了SOKUDO DUO 450mm track系統,此舉將鞏固我們長期作為尖端track供應商的地位。」

CNSE製造創新副總裁兼G450C總經理Paul Farrar, Jr.,表示:「在安德魯‧庫默州長的領導與宏偉願景的指導下,紐約進一步成為產業向450mm晶圓技術實現關鍵轉變的中心。我們非常高興與大日本SCREEN的半導體設備公司繼續合作,並對其子公司 SOKUDO Co., Ltd參與幫助向450mm晶圓技術實現重大轉變表示熱烈歡迎。」

2013年7月,在美西半導體展(SEMICON West)期間舉辦的SOKUDO微影技術早餐論壇上曾揭露,SOKUDO DUO依比例增大的一種450mm完整晶圓已經在大日本SCREEN製程技術中心(位於日本彥根市)的無塵室內運作一年以上。SOKUDO是首批極力支援該聯盟的公司之一,其推出了各種450mm薄膜塗層的測試晶圓,包括用於實現450mm奈米壓印微影圖案化、DSA功能及參數特徵化的黏附性塗層。

作為半導體設備的領導企業,大日本SCREEN和SOKUDO將繼續推出世界一流的產品,為產業發展做出貢獻。

關於大日本SCREEN製造株式會社:大日本SCREEN成立於1943年,目前位居晶圓清洗與退火系統等半導體設備全球供應商前十大。多年以來,公司借助多年來開發的磁心映射處理、微影與清洗技術,包括涵蓋平面顯示器、印刷電路板和媒體技術方面的業務,其規模已得到進一步擴大。網址:www.screen.co.jp/eng/

關於SOKUDO Co., Ltd.:SOKUDO是大日本SCREEN旗下子公司,專注於開發半導體生產用的先進塗層/顯影系統。其系列產品廣泛用於各種微影應用(例如:i-line、KrF、浸潤式ArF、EUV、電子束),以及基板規格在50-450mm範圍內的各種利基市場。網址:www.sokudo.com

關於紐約州立大學奈米科學與工程學院:紐約州立大學(SUNY)奈米科學與工程學院(CNSE)是新興奈米科學、奈米工程、奈米生物科學以及奈米經濟學學科領域的全球一流學院。CNSE是由大學推動的全球頂尖研究型企事業單位,該學院擁有超過200億美元的高科技投資及300多家企業合作夥伴。占地130萬平方英尺的奧爾巴尼NanoTech megaplex是彙聚有逾3100名科學家、研究人員、工程師及師生的大本營。網址:www.sunycnse.com

圖片/多媒體資訊 : http://www.businesswire.com/multimedia/home/ 20140224007102/zh-HK/

聯絡方式:Charles Pieczulewski大日本SCREEN製造株式會社半導體設備公司策略業務規劃部副總經理兼SOKUDO Co., Ltd.策略市場總監charles@screen.co.jp電話+81-75-417-2670

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