漢微科去年12月營收6.7億元，月增倍數成長，年增達35.2%，再創單月歷史新高，合計去年第4季營收為14.36億元，季增2.4%，同樣再創單季新高；2013年整體營收為53.4億元，年增27.5%，法人估計每股盈餘將超過30元。
目前漢微科已經開始出貨eScan500新機台成為今年的主力機台，由於毛利相當高，對於獲利將是有利的支撐，加上搭配Supernova掃描技術平台更將大幅提高市場競爭力，隨著2014年半導體設備需求可望再成長超過2成，因此台積電(2330-TW)、英特爾(Intel)，三星(Samsung)、美光(Micron)與海力士(SK Hynix)等半導體巨擘，對漢微科檢測設備的採購動作有增無減，今年營收獲利仍會創下新高。